Составители:
Рубрика:
60
þò òîíêèå ïëåíêè ÒàN, ñîïðîòèâëåíèå êîòîðûõ ìîæíî èçìåíÿòü êîíöåí-
òðàöèåé ââîäèìîãî â êàìåðó àçîòà. Ðåàêòèâíîå ðàñïûëåíèå øèðîêî ïðè-
ìåíÿåòñÿ äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ âûñîêîîìíûõ ðåçèñòîðîâ.
Îñíîâíàÿ òåõíè÷åñêàÿ òðóäíîñòü ïðè ðåàêòèâíîì êàòîäíîì ðàñïû-
ëåíèè òî÷íîå äîçèðîâàíèå ââîäèìîãî â êàìåðó àêòèâíîãî ãàçà.
Èîííî-ïëàçìåííîå ðàñïûëåíèå îñóùåñòâëÿåòñÿ ïðè áîëåå íèçêèõ
äàâëåíèÿõ 10
2
Ïà â ïëàçìå íåñàìîñòîÿòåëüíîãî äóãîâîãî ðàçðÿäà. Íà-
çâàíèå ýòîãî ìåòîäà ïðèíÿòî óñëîâíî; êàòîäíîå è ðåàêòèâíî-êàòîäíîå
íàíåñåíèå ïëåíîê òàêæå ÿâëÿþòñÿ èîííî-ïëàçìåííûìè ïðîöåññàìè.
Ïëåíêè ïîëó÷àþò â òðåõ èëè ÷åòûðåõ ýëåêòðîäíûõ âàêóóìíûõ êàìåðàõ
(ðèñ. 22). Òåðìîýìèññèîííûé êàòîä ñëóæèò äëÿ ïîääåðæàíèÿ äóãîâîãî
ðàçðÿäà. Èñòî÷íèêîì ÷àñòèö ìàòåðèàëà íàíîñèìîé ïëåíêè ÿâëÿåòñÿ
äîïîëíèòåëüíûé ýëåêòðîä-ìèøåíü. Ïîäëîæêè ðàñïîëàãàþò íàïðîòèâ
ìèøåíåé íà êàðóñåëè èëè áàðàáàíå.
Âîçäóõ èç êàìåðû îòêà÷èâàþò äî ïðåäåëüíîãî âàêóóìà, âêëþ÷àþò
òîê íàêàëà êàòîäà, ïîñëå ðàçîãðåâà êàòîäà ìåæäó íèì è àíîäîì ïðè-
êëàäûâàþò íàïðÿæåíèå, è â êàìåðó âïóñêàþò èíåðòíûé ãàç. Ìåæäó àíî-
äîì è êàòîäîì çàæèãàåòñÿ äóãîâîé ðàçðÿä. Ïðè ïîäà÷å íà ìèøåíü èëè
ïîäëîæêè íåáîëüøîãî îòðèöàòåëüíîãî ïîòåíöèàëà ìîæíî ïðîèçâåñòè èõ
èîííóþ î÷èñòêó. Äëÿ íàíåñåíèÿ ïëåíêè íà ìèøåíü ïîäàåòñÿ îòðèöàòåëü-
íûé ïî îòíîøåíèþ ê àíîäó ïîòåíöèàë 2001000 Â. Ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå
ìèøåíè âûòÿãèâàåò èç ïëàçìû ïîëîæèòåëüíûå èîíû è óñêîðÿåò èõ äî
Îòêà÷êà
1
2
3
4
5
6
7
+
Ðèñ. 22. Ñõåìà ïðîöåññà èîííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ: 1 âàêóóìíàÿ êàìåðà;
2 íàãðåâàòåëü; 3 ïîäëîæêà; 4 àíîä; 5 êàòîä; 6 ìèøåíü;
7 èãîëü÷àòûé íàòåêàòåëü
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 58
- 59
- 60
- 61
- 62
- …
- следующая ›
- последняя »
