Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 53 стр.

UptoLike

Составители: 

53
êîì, ñîõðàíÿÿ ñâîþ ýíåðãèþ äî âñòðå÷è ñ ïîäëîæêîé. Ðàâíîìåðíîñòü
äîñòàâêè ÷àñòèö ê ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè óëó÷øàåòñÿ ñ óìåíüøåíèåì
îòíîøåíèÿ ëèíåéíûõ ðàçìåðîâ ïîâåðõíîñòè èñïàðåíèÿ âåùåñòâà ê ðàñ-
ñòîÿíèþ äî ïîäëîæêè.
Êîíäåíñàöèÿ ïàðà íà ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè çàâèñèò îò òåìïå-
ðàòóðû ïîäëîæêè è ïëîòíîñòè àòîìàðíîãî ïîòîêà. Àòîìû ïàðà, äîñòèã-
øèå ïîäëîæêè, ìîãóò ìãíîâåííî îòðàçèòüñÿ îò íåå (óïðóãîå ñòîëêíîâå-
íèå), àäñîðáèðîâàòüñÿ è ÷åðåç íåêîòîðîå âðåìÿ îòðàçèòüñÿ îò ïîäëîæ-
êè (ðåèñïàðåíèå), àäñîðáèðîâàòüñÿ è ïîñëå êðàòêîâðåìåííîãî ìèãðèðî-
âàíèÿ ïî ïîâåðõíîñòè îêîí÷àòåëüíî îñòàòüñÿ íà íåé îíäåíñàöèÿ).
Êîíäåíñàöèÿ àòîìîâ ïðîèñõîäèò, åñëè èõ ýíåðãèÿ ñâÿçè ñ àòîìàìè
ïîäëîæêè áîëüøå ñðåäíåé ýíåðãèè àòîìîâ ïîäëîæêè, â ïðîòèâíîì ñëó-
÷àå àòîìû îòðàæàþòñÿ. Åñëè ïîäëîæêà íàãðåòà, ýíåðãèÿ åå àòîìîâ âûøå,
âåðîÿòíîñòü êîíäåíñàöèè ïàðà íèæå.
Òåìïåðàòóðà, âûøå êîòîðîé ïðè äàííîé ïëîòíîñòè ïîòîêà ïàðà âñå
àòîìû îòðàæàþòñÿ îò ïîäëîæêè è ïëåíêà íå îáðàçóåòñÿ, íàçûâàåòñÿ
êðèòè÷åñêîé òåìïåðàòóðîé êîíäåíñàöèè.
Êðèòè÷åñêàÿ òåìïåðàòóðà çàâèñèò îò ïðèðîäû ìàòåðèàëà ïëåíêè è
ïîäëîæêè è îò ñîñòîÿíèÿ ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè. Ïðè îïðåäåëåííîé òåì-
ïåðàòóðå ïîäëîæêè, ìåíüøå êðèòè÷åñêîé, êîíäåíñàöèÿ ïàðà âîçìîæíà
òîëüêî ïðè óñëîâèè ïåðåñûùåíèÿ ïàðà, ò. å. äëÿ êîíäåíñàöèè ñóùåñòâó-
åò êðèòè÷åñêàÿ ïëîòíîñòü àòîìàðíîãî ïîòîêà.
Êðèòè÷åñêîé ïëîòíîñòüþ àòîìàðíîãî ïîòîêà äëÿ äàííîé òåìïåðàòó-
ðû ïîäëîæêè íàçûâàåòñÿ íàèìåíüøàÿ ïëîòíîñòü, ïðè êîòîðîé àòîìû
êîíäåíñèðóþòñÿ íà ïîäëîæêå.
Îáðàçîâàíèå çàðîäûøåé ïðîèñõîäèò â ðåçóëüòàòå íàõîæäåíèÿ àòî-
ìàìè ìåñò, ñîîòâåòñòâóþùèõ ìèíèìóìó ñâîáîäíîé ýíåðãèè ñèñòåìû
àòîì ïîäëîæêà.
Ðîñò çàðîäûøåé ïðîèñõîäèò çà ñ÷åò ïðèñîåäèíåíèÿ íîâûõ àòîìîâ,
ìèãðèðóþùèõ ïî ïîâåðõíîñòè èëè ïîïàäàþùèõ íà çàðîäûøè íåïîñðåä-
ñòâåííî èç ïðîëåòíîãî ïðîìåæóòêà èñòî÷íèê ïîäëîæêà. Ïî ìåðå êîí-
äåíñàöèè ïàðà çàðîäûøè ðàñòóò, ìåæäó íèìè îáðàçóþòñÿ ñîåäèíÿþ-
ùèå ìîñòèêè, çàðîäûøè ñëèâàþòñÿ â êðóïíûå îñòðîâêè. Ïîñëå ýòîãî
íàñòóïàåò ñòàäèÿ ñëèÿíèÿ îñòðîâêîâ ñ îáðàçîâàíèåì åäèíîé ñåòêè. Ñåòêà
ïåðåõîäèò â ñïëîøíóþ ïëåíêó, êîòîðàÿ íà÷èíàåò ðàñòè â òîëùèíó. Ñ ýòî-
ãî ìîìåíòà âëèÿíèå ïîäëîæêè èñêëþ÷àåòñÿ è ÷àñòèöû ïàðà îò ïîâåðõ-
íîñòè ïëåíêè ïðàêòè÷åñêè íå îòðàæàþòñÿ.