Составители:
Рубрика:
51
Ñóõîå òðàâëåíèå îáåñïå÷èâàåò áîëüøåå ðàçðåøåíèå. Íàèáîëåå øè-
ðîêî äëÿ ïîëó÷åíèÿ ÈÌ ñ ñóáìèêðîííûìè ðàçìåðàìè ýëåìåíòîâ ïðèìå-
íÿþò ðåàêòèâíîå èîííîå è èîííî-ïëàçìåííîå òðàâëåíèå â âàêóóìíûõ
êàìåðàõ ñ ïàðàëëåëüíûìè ýëåêòðîäàìè. Ýòè ìåòîäû îòëè÷àþòñÿ âû-
ñîêîé àíèçîòðîïèåé òðàâëåíèÿ, ÷òî ïîçâîëÿåò ÷åòêî êîíòðîëèðîâàòü ðàç-
ìåðû âûòðàâëåííûõ îáëàñòåé. Ïàðàìåòðû ïðîöåññîâ òðàâëåíèÿ ñëåäó-
åò ñòðîãî êîíòðîëèðîâàòü, ÷òîáû èñêëþ÷èòü íåæåëàòåëüíûå ïîáî÷íûå
ýôôåêòû: ðàäèàöèîííûå ïîâðåæäåíèÿ è îñàæäåíèå ïîëèìåðîâ.
Ïðè îáðàòíîé ôîòîëèòîãðàôèè ïåðåíîñ òîïîëîãèè ñ ôîòîìàñêè íà
ñëîé ÈÌ ñîâìåùåí ñ îïåðàöèåé óäàëåíèÿ ôîòîìàñêè èëè ñ îïåðàöèåé
íàíåñåíèÿ ñëîÿ.
Óäàëåíèå ôîòîìàñêè èìååò öåëüþ òàêæå òùàòåëüíóþ î÷èñòêó îò âñåõ
çàãðÿçíåíèé ïîäëîæêè â ïðîöåññå ôîòîëèòîãðàôèè.
Ïëàçìîõèìè÷åñêîå óäàëåíèå ôîòîìàñêè íàèáîëåå ýôôåêòèâíûé è
áåçîïàñíûé ïðîöåññ, îäíîâðåìåííî îáåñïå÷èâàåò è î÷èñòêó ïëàñòèí.
Âûïîëíÿåòñÿ, íàïðèìåð, â âàêóóìíûõ ïîëóàâòîìàòàõ «Ïëàçìà-600»,
«Ïëàçìà-600Ò» â íèçêîòåìïåðàòóðíîé ïëàçìå ñìåñè êèñëîðîäà ñ àçî-
òîì. Àçîò ïðåäîõðàíÿåò îòêðûòûå ó÷àñòêè êðåìíèÿ îò îêèñëåíèÿ. Äëè-
òåëüíîñòü îáðàáîòêè ñóùåñòâåííî ñîêðàùàåòñÿ ïî ñðàâíåíèþ ñ æèäêî-
ñòíûìè ïðîöåññàìè. Îäíàêî òîëüêî ïëàçìîõèìè÷åñêàÿ îáðàáîòêà íå â
ïîëíîé ìåðå óäîâëåòâîðÿåò âîçðîñøèì òðåáîâàíèÿì ê òåõíîëîãèè áîëü-
øèõ è ñâåðõáîëüøèõ ÈÌ, ïîñêîëüêó âûäåëÿþùèåñÿ ïðè îêèñëèòåëüíîé
äåñòðóêöèè ôîòîðåçèñòà ãàçîîáðàçíûå ïðîäóêòû ÑÎ
2
, ÑÎ, NÎ
2
, Í
2
Î
àäñîðáèðóþòñÿ è õèìè÷åñêè âçàèìîäåéñòâóþò ñ äèîêñèäîì êðåìíèÿ.
Êðîìå òîãî, íà ïîâåðõíîñòè îñòàþòñÿ ïðîäóêòû íåïîëíîãî ñãîðàíèÿ
ôîòîñëîÿ, ìåòàëëè÷åñêèå çàãðÿçíåíèÿ; âîçìîæíû ðàäèàöèîííûå äåôåêòû.
Òåõíîëîãè÷åñêèå ìàðøðóòû óäàëåíèÿ ôîòîìàñêè ðàçðàáàòûâàþòñÿ
äëÿ êàæäîãî êîíêðåòíîãî ñëó÷àÿ, â çàâèñèìîñòè îò ìàðêè ôîòîðåçèñòà,
ìàòåðèàëà ïîäëîæêè è äð.
Ôîòîëèòîãðàôèÿ â ãëóáîêîì óëüòðàôèîëåòå. Ýêñïîíèðîâàíèå â îá-
ëàñòè ãëóáîêîãî óëüòðàôèîëåòà ïîçâîëÿåò çíà÷èòåëüíî ïîâûñèòü ðàçðå-
øàþùóþ ñïîñîáíîñòü ôîòîëèòîãðàôèè çà ñ÷åò óìåíüøåíèÿ äèôðàêöèè
ñâåòà ñ ïîíèæåíèåì äëèíû âîëíû. Ýòî ñðàâíèòåëüíî íîâîå íàïðàâëå-
íèå ôîòîëèòîãðàôèè èìååò îãðàíè÷åíèÿ, ñâÿçàííûå ñ íåîáõîäèìîñòüþ
ñîãëàñîâàíèÿ ñïåêòðîâ èñòî÷íèêà èçëó÷åíèÿ è ôîòîðåçèñòà.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 49
- 50
- 51
- 52
- 53
- …
- следующая ›
- последняя »
