Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 45 стр.

UptoLike

Составители: 

45
1
2
3
4
Ðèñ. 15. Íàíåñåíèå ñëîÿ ðåçèñòà
ðàñïûëåíèåì: 1 ñîïëî ôîðñóíêè;
2  äèñïåðãèðîâàííûé ðåçèñò;
3  ïîäëîæêè; 4  ñòîë óñòàíîâêè
òàõ âðàùåíèÿ öåíòðèôóãè, áîëüøèõ 2000 îá/ìèí, ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü
áîëåå ïëîñêóþ ïîâåðõíîñòü ôîòîñëîÿ.
Äîñòîèíñòâà ìåòîäà: âûñîêàÿ âîñïðîèçâîäèìîñòü òîëùèíû ôî-
òîñëîÿ â ïðåäåëàõ êàæäîé ïëàñòèíû è ïàðòèè ïëàñòèí, âîçìîæíîñòü
ïîëó÷åíèÿ òîíêèõ ñëîåâ (0,10,2 ìêì).
Íåäîñòàòêè ìåòîäà: íåâîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ ðàâíîìåðíûõ ñëîåâ
òîëùèíîé áîëåå 23 ìêì, íàëè÷èå êðàåâîãî óòîëùåíèÿ, çàãðÿçíåíèÿ ñëîåâ
èç-çà çàõâàòà ïûëèíîê èç âîçäóõà ïðè âðàùåíèè öåíòðèôóãè, íåîáõîäè-
ìîñòü òùàòåëüíîãî êîíòðîëÿ è êîððåêòèðîâêè âÿçêîñòè ôîòîðåçèñòîâ
èç-çà èñïàðåíèÿ ðàñòâîðèòåëåé. Â ïëåíêàõ, âûñûõàþùèõ ïðè äåéñòâèè
öåíòðîáåæíûõ ñèë, âîçíèêàþò âíóòðåííèå íàïðÿæåíèÿ. Ïðîöåññ ïëîõî
ïîääàåòñÿ àâòîìàòèçàöèè.
Íàíåñåíèå ôîòîðåçèñòà ðàñïûëåíèåì ïðîèçâîäèòñÿ ôîðñóíêîé, â êî-
òîðîé äëÿ äèñïåðãèðîâàíèÿ ñòðóè ðàñòâîðà ôîòîðåçèñòà ïðè âûõîäå èç
ñîïëà èñïîëüçóåòñÿ ñæàòûé âîçäóõ.
Ðàñïûëåíèåì ìîæíî íàíîñèòü ñëîé íà ðåëüåôíûå ïîâåðõíîñòè (ðèñ. 15),
ïîëó÷àòü ñëîè òîëùèíîé îò 0,3 äî 20 ìêì ñ òî÷íîñòüþ 5%. Êðàåâîå
óòîëùåíèå ñëîÿ îòñóòñòâóåò. Âñëåäñòâèå îòñóòñòâèÿ ìåõàíè÷åñêèõ
íàïðÿæåíèé äåôåêòíîñòü ñëîåâ â 34 ðàçà ìåíüøå ïî ñðàâíåíèþ ñ ïî-
ëó÷åííûìè öåíòðèôóãèðîâàíèåì. Ðàñõîä ôîòîðåçèñòà ñóùåñòâåííî
ìåíüøå.
Ïðîöåññ îòëè÷àåòñÿ âûñîêîé ïðîèçâîäèòåëüíîñòüþ è âîçìîæíîñòüþ
àâòîìàòèçàöèè. Îñíîâíàÿ ïðîáëåìà ïðè íàíåñåíèè ñëîåâ ðàñïûëåíèåì
çàòÿãèâàíèå ïûëè è äðóãèõ çàãðÿçíåíèé ñòðóåé äèñïåðãèðîâàííîãî ôî-
òîðåçèñòà. Ðàñïûëåíèå ïðèìåíÿþò äëÿ íàíåñåíèÿ ðåçèñòà íà ïðÿìîó-
ãîëüíûå äèýëåêòðè÷åñêèå ïîäëîæêè.
Ìåòîä îêóíàíèÿ èìååò äâå ðàçíîâèäíîñòè. Ïåðâûé ñïîñîá ïðî-
ñòîå ïîãðóæåíèå ïîäëîæêè â ôî-
òîðåçèñò è èçâëå÷åíèå èç íåãî ñ
ðåãóëèðóåìîé ñêîðîñòüþ 6150
ìì/ìèí. Ïðè ìåäëåííîì èçâëå-
÷åíèè ïîëó÷àþòñÿ áîëåå òîíêèå
è îäíîðîäíûå ñëîè. Òàêîå îêóíà-
íèå ïðèìåíÿåòñÿ äëÿ äâóñòîðîí-
íåãî íàíåñåíèÿ ñëîåâ è äëÿ ïîëó-
÷åíèÿ òîëñòûõ ñëîåâ, êîãäà òðå-
áîâàíèÿ ê ðàâíîìåðíîñòè òîëùè-
íû íå ñëèøêîì âûñîêèå. Äëÿ óñ-