Составители:
Рубрика:
43
Ðèñ. 12. Êëèí òðàâëåíèÿ à ïðè
ïåðåäà÷å ðèñóíêà ñ ôîòîìàñêè
íà ïëåíêó SiO
2
Ðèñ. 13. Ïîâåðõíîñòü, ïëîõî (à) è
õîðîøî (á), ñìà÷èâàåìàÿ æèäêîñòüþ:
θ θ
θ θ
θ
êðàåâîé óãîë
ñìà÷èâàíèÿ ïîâåðõíîñòè
Îïòèìàëüíî ïîäãîòîâëåííîé ê ôîòîëèòîãðàôèè ïîâåðõíîñòüþ ÿâ-
ëÿåòñÿ ïîâåðõíîñòü, êîòîðàÿ õîðîøî ñìà÷èâàåòñÿ ôîòîðåçèñòîì è ïëî-
õî ñìà÷èâàåòñÿ âîäîé, ò.å. äëÿ êîòîðîé âûïîëíÿåòñÿ óñëîâèå
0, 180.
FB
Θ→°Θ→ °
Ýòè óñëîâèÿ íå ïðîòèâîðå÷àò äðóã äðóãó äëÿ áîëüøèíñòâà ïîëèìåð-
íûõ ôîòîðåçèñòîâ, òàê êàê îíè, áóäó÷è ñàìè ãèäðîôîáíûìè, õîðîøî
ñìà÷èâàþò ãèäðîôîáíûå, à íå ãèäðîôèëüíûå ïîâåðõíîñòè.
Òàêèì îáðàçîì, ïîäãîòîâëåííàÿ ê íàíåñåíèþ ôîòîðåçèñòà ïîâåðõ-
íîñòü äîëæíà áûòü íå òîëüêî î÷èùåíà îò çàãðÿçíåíèé, íî òàêæå äîëæíà
áûòü ãèäðîôîáíîé.
Ôîòîëèòîãðàôèþ ïî ïëåíêå äèîêñèäà êðåìíèÿ öåëåñîîáðàçíî ïðî-
âîäèòü íåïîñðåäñòâåííî ïîñëå òåðìè÷åñêîãî îêñèäèðîâàíèÿ êðåìíèÿ,
ïîêà ïîâåðõíîñòü äèîêñèäà ãèäðîôîáíà. Åñëè ïëàñòèíû ñ ïëåíêîé SiÎ
2
õðàíèëèñü áîëåå 1 ÷, èõ ïîâåðõíîñòü ñòàíîâèòñÿ ãèäðîôèëüíîé è íåîá-
õîäèìà òåðìîîáðàáîòêà â ñóõîì èíåðòíîì ãàçå, â âàêóóìå èëè ñïåöèàëü-
íàÿ ãèäðîôîáèçèðóþùàÿ îáðàáîòêà ñ ïðèìåíåíèåì ðàñòâîðîâ îðãàíî-
ñèëàíîâ.
Íàíåñåíèå ñëîÿ ôîòîðåçèñòà ìîæíî âûïîëíÿòü öåíòðèôóãèðîâàíè-
åì, ðàñïûëåíèåì, îêóíàíèåì. Ñðàâíèòåëüíî íåäàâíî íà÷àëè ïðèìåíÿòü
ñóõèå ïëåíî÷íûå ôîòîðåçèñòû, êîòîðûå íàíîñÿò íàêàòêîé.
Ìåòîä öåíòðèôóãèðîâàíèÿ (ðèñ. 14) ïðèìåíÿåòñÿ äëÿ êðóãëûõ ïîä-
ëîæåê, ò.å. ïëàñòèí êðåìíèÿ è äðóãèõ ïîëóïðîâîäíèêîâ. Ïîäëîæêè ðàñ-
ïîëàãàþòñÿ íà äèñêå öåíòðèôóãè è óäåðæèâàþòñÿ ïðè âðàùåíèè âàêó-
SiO
2
Si
Si
à à
180°
θ
θ
à)
á)
θ
θ
0°
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 41
- 42
- 43
- 44
- 45
- …
- следующая ›
- последняя »
