Составители:
Рубрика:
39
Ðèñ. 10. Ëèòîãðàôèÿ ïðÿìàÿ (à), îáðàòíàÿ âçðûâíàÿ (á) è îáðàòíàÿ ñ ýëåêò-
ðîëèòè÷åñêèì îñàæäåíèåì ïëåíêè (â): 1 ôîðìèðîâàíèå ðåçèñòèâíîé ìàñêè;
2 ïåðåäà÷à ñ ðèñóíêà ñ ìàñêè íà ñëîé SiO
2
ïðè ïðÿìîé ëèòîãðàôèè (à),
íàíåñåíèå ïëåíêè â îêíà è ïîâåðõ ìàñêè (á) èëè â îêíà (â);
3 óäàëåíèå ðåçèñòèâíîé ìàñêè
Ïðè îáðàòíîé ëèòîãðàôèè ïëåíêà, â êîòîðîé íåîáõîäèìî ïîëó÷èòü
ðèñóíîê, íàíîñèòñÿ ïîâåðõ óæå ñôîðìèðîâàííîé ðåçèñòèâíîé ìàñêè.
×àñòü ïëåíêè, êàê ïîêàçàíî íà ðèñ. 10,á, óäàëÿåòñÿ âìåñòå ñ ìàñêîé
(«âçðûâíàÿ» ëèòîãðàôèÿ), è íà ïîäëîæêå îñòàåòñÿ òðåáóåìûé ðèñóíîê
ïëåíêè. Äëÿ «âçðûâíîé» ëèòîãðàôèè íåîáõîäèìî îáåñïå÷èòü ñîîòâåò-
ñòâóþùóþ (ñ îòðèöàòåëüíûì íàêëîíîì) ôîðìó áîêîâûõ ñòåíîê îêîí
ìàñêè è ñðàâíèòåëüíî ñ ïëåíêîé òîëñòûé ñëîé ðåçèñòà. Íàðÿäó ñ «âçðûâ-
íîé», ðàçíîâèäíîñòüþ îáðàòíîé ëèòîãðàôèè ÿâëÿåòñÿ ñïîñîá, ïðè êîòî-
ðîì ïëåíêà ýëåêòðîëèòè÷åñêè îñàæäàåòñÿ òîëüêî â îêíà ìàñêè, ñ âûñî-
êîé òî÷íîñòüþ âîñïðîèçâîäÿ åå ðèñóíîê. Ïðè îáðàòíîé ëèòîãðàôèè ðè-
ñóíîê, ïåðåäàâàåìûé íà ïëåíêó, ïðîòèâîïîëîæåí ðèñóíêó ðåçèñòèâíîé
ìàñêè. Ïðåèìóùåñòâîì îáðàòíîé ëèòîãðàôèè ÿâëÿåòñÿ âîçìîæíîñòü
îáîéòèñü áåç òðàâëåíèÿ.
Êëàññèôèêàöèÿ ìåòîäîâ ëèòîãðàôèè. Â çàâèñèìîñòè îò òèïà ïðè-
ìåíÿåìîãî èçëó÷åíèÿ ðàçëè÷àþò îïòè÷åñêóþ, ðåíòãåíîâñêóþ, ýëåêòðîí-
íóþ è èîííóþ ëèòîãðàôèè (ðèñ. 11).
Îïòè÷åñêàÿ ëèòîãðàôèÿ (ôîòîëèòîãðàôèÿ), ñòàíäàðòíàÿ èëè â
ãëóáîêîé óëüòðàôèîëåòîâîé îáëàñòè, â ñîîòâåòñòâèè ñî ñïîñîáîì ýêñ-
ïîíèðîâàíèÿ ìîæåò áûòü êîíòàêòíîé èëè áåñêîíòàêòíîé (íà ìèêðîçàçî-
ðå è ïðîåêöèîííàÿ).
Ïîäëîæêà
Ïîäëîæêà
Ïîäëîæêà
1
2
3
à) á) â)
Ïðîâîäÿùàÿ
ïëåíêà
Ýëåêòðî-
ëèòè÷åñêè
îñàæäåííàÿ
ïëåíêà
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 37
- 38
- 39
- 40
- 41
- …
- следующая ›
- последняя »
