Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 98 стр.

UptoLike

Составители: 

98
Ïîñëå ïåðåìåøèâàíèÿ ïðîèçâîäèòñÿ êîíòðîëü âÿçêîñòè ïàñòû. Ãîòî-
âûå ïàñòû óïàêîâûâàþòñÿ â ïëîòíî çàêðûâàþùóþñÿ òàðó. Ïî ìåðå óïîò-
ðåáëåíèÿ è ïðè õðàíåíèè ðàñòâîðèòåëè èñïàðÿþòñÿ è ïîýòîìó íåîáõîäè-
ìî êîððåêòèðîâàòü âÿçêîñòü ïàñò äîáàâëåíèåì ðàñòâîðèòåëåé è äîïîë-
íèòåëüíûì ïåðåìåøèâàíèåì.
Òðàôàðåòíàÿ ïå÷àòü îñóùåñòâëÿåòñÿ íà ñïåöèàëüíûõ ïå÷àòíûõ
àâòîìàòàõ èëè ïîëóàâòîìàòàõ äâóìÿ ñïîñîáàìè: áåñêîíòàêòíûì èëè
êîíòàêòíûì.
Ïðè áåñêîíòàêòíîì ñïîñîáå ñåò÷àòàÿ ìàñêà ðàñïîëàãàåòñÿ íà ôèê-
ñèðîâàííîì ðàññòîÿíèè îò ïîäëîæêè. Ïîäëîæêà çàêðåïëÿåòñÿ ñ ïîìî-
ùüþ ìåõàíè÷åñêîãî äåðæàòåëÿ èëè âàêóóìíîãî ïðèæèìà. Ïðîäàâëèâà-
íèå ïàñòû ñêâîçü îòâåðñòèÿ ìàñêè îñóùåñòâëÿåòñÿ ñ ïîìîùüþ ñïåöè-
àëüíîé ëîïàòî÷êè-ðàêåëÿ (ðèñ. 36). Ëåçâèå ðàêåëÿ èçãîòàâëèâàþò èç ïðî÷-
íûõ è óïðóãèõ ìàòåðèàëîâ, ñòîéêèõ ê âîçäåéñòâèþ îðãàíè÷åñêèõ ðàñòâî-
ðèòåëåé. Íàèáîëåå øèðîêî èñïîëüçóþò ïîëèóðåòàí è ôòîðêàó÷óê. Óãîë
ðàêåëÿ ïðè âåðøèíå ñîñòàâëÿåò 90 èëè 60
î
. Ïåðåìåùàÿñü ïî ïîâåðõíîñ-
òè ìàñêè, ðàêåëü ãîíèò âïåðåäè ñåáÿ âîëíó ïàñòû è îäíîâðåìåííî íà-
äàâëèâàåò íà ìàñêó. Ìàñêà ïðîãèáàåòñÿ è êàñàåòñÿ ïîäëîæêè. Ïîä äåé-
ñòâèåì âîçíèêàþùåãî ãèäðîìåõàíè÷åñêîãî äàâëåíèÿ ïàñòà çàïîëíÿåò
îòâåðñòèÿ ñåòêè â ìåñòàõ êàñàíèÿ ñ ïîäëîæêîé è ïðîäàâëèâàåòñÿ. Ïî
ìåðå óõîäà ðàêåëÿ ìàñêà âûïðÿìëÿåòñÿ, îñòàâëÿÿ íà ïîäëîæêå ðèñóíîê
íàíåñåííîé ïàñòû.
Íåîáõîäèìûì óñëîâèåì ïîëó÷åíèÿ êà÷åñòâåííîãî îòïå÷àòêà ñ ÷åò-
êèì êðàåì ðèñóíêà ÿâëÿåòñÿ èñïîëüçîâàíèå ïàñò ñ õîðîøèìè òèêñîò-
ðîïíûìè ñâîéñòâàìè.
Ðàçìåðû ìàñêè ïðèáëèçèòåëüíî â 4 ðàçà ïðåâîñõîäÿò ðàçìåðû ïîä-
ëîæêè, ïîýòîìó â ïðîöåññå íàíåñåíèÿ ïàñòû ðàáî÷àÿ ÷àñòü ðàêåëÿ íå
Ð
V
1
2
3
4
5
α
Ðèñ. 36. Ñõåìà ïðîöåññà áåñêîíòàêòíîé òðàôàðåòíîé ïå÷àòè: 1 ðàêåëü;
2  ïàñòà; 3  ïîäëîæêà; 4  îòïå÷àòîê ïàñòû; 5  ìàñêà; V ñêîðîñòü äâèæåíèÿ
ðàêåëÿ;
αα
αα
α óãîë âñòðå÷è ðàêåëÿ ñ ïîâåðõíîñòüþ ïîäëîæêè; Ð äàâëåíèå