Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 99 стр.

UptoLike

Составители: 

99
äîõîäèò äî êðàåâ ìàñêè. Ýòèì îáåñïå÷èâàåòñÿ îáðàòèìàÿ äåôîðìàöèÿ
è ðàâíîìåðíûé ïðîãèá ìàñêè â ïðîöåññå íàíåñåíèÿ ïàñò.
Òåðìîîáðàáîòêà ïàñò âêëþ÷àåò äâå îïåðàöèè: ñóøêó è âæèãàíèå.
Ñóøêà íåîáõîäèìà äëÿ ïîñòåïåííîãî óäàëåíèÿ èç ïàñòû ëåòó÷èõ êîìïî-
íåíòîâ. Ïðè áûñòðîì óäàëåíèè ðàñòâîðèòåëÿ â ïëåíêå ïîÿâëÿþòñÿ âñïó-
÷èâàíèÿ, ìîãóò âîçíèêíóòü ðàêîâèíû è ïóñòîòû. Ñóøêó ïðîâîäÿò ïðè
òåìïåðàòóðàõ 80150
î
Ñ â òå÷åíèå 515 ìèí â ïå÷àõ èëè ïîä èíôðà-
êðàñíûìè ëàìïàìè. Èíôðàêðàñíûå ëó÷è ïðîíèêàþò â ãëóáü ñëîÿ ïàñòû
è ñóøàò åãî ðàâíîìåðíî áåç îáðàçîâàíèÿ çàòðóäíÿþùåé ñóøêó ïîâåðõ-
íîñòíîé êîðî÷êè.
Âæèãàíèå ïàñò ïðîâîäÿò â êîíâåéåðíûõ ýëåêòðîïå÷àõ íåïðåðûâíî-
ãî äåéñòâèÿ. Ïåðåä âõîäîì â ïå÷ü ÷àñòî óñòàíàâëèâàåòñÿ äîïîëíèòåëü-
íàÿ ïðèñòàâêà äëÿ âûïîëíåíèÿ ñóøêè ñ òåì, ÷òîáû âåñü ïðîöåññ òåðìî-
îáðàáîòêè âûïîëíÿòü íà îäíîé êîíâåéåðíîé ëåíòå çà îäèí öèêë. Ñõåìà
êîíâåéåðíîé ïå÷è è ïðèáëèçèòåëüíûé òåìïåðàòóðíî-âðåìåííîé ðåæèì
ïðèâåäåíû íà ðèñ. 37. Ïîäëîæêè, ðàçìåùåííûå íà êîíâåéåðíîé ëåíòå,
ïîñòóïàþò â ìóôåëü ïå÷è. Íàâñòðå÷ó äâèæåíèþ ïîäëîæåê ïå÷ü ïðîäó-
âàþò ñóõèì âîçäóõîì ïîä äàâëåíèåì. Âîçäóõ ñ âûäåëèâøèìèñÿ ïðè
òåðìîîáðàáîòêå ãàçàìè âûõîäèò ÷åðåç îòâåðñòèå â ìóôåëå â âûòÿæ-
íóþ âåíòèëÿöèîííóþ ñèñòåìó.
à
1
234
5
6
Ò
0
Ñ
7001000
350
Ñ
ó
øêà è âæèãàíèå
îðãàíè÷åñêîé
ñâÿçêè
Ñïåêàíèå Îõëàæäåíèå
Äëèíà ðàáî÷åé çîíû ïå÷è
á
Ðèñ. 37. Ñõåìà êîíâåéåðíîé ïå÷è òåðìîîáðàáîòêè ïàñò (à) è õàðàêòåð ðàñïðåäå-
ëåíèÿ òåìïåðàòóðû âäîëü ïå÷è (á); 1 êîíâåéåðíàÿ ëåíòà; 2 âåíòèëëÿöèîí-
íàÿ ñèñòåìà; 3 êâàðöåâûé ìóôåëü ïå÷è (ðàáî÷èå çîíû); 4 ñóõîé âîçäóõ;
5 âîçäóøíàÿ çàâåñà; 6 âåíòèëÿòîð