Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 101 стр.

UptoLike

Составители: 

101
âîçäåéñòâèÿì â ñîñòàâ ñòåêëà äîáàâëÿþò òóãîïëàâêèå ñîåäèíåíèÿ. Ðå-
ãóëèðîâàíèå ÒÊËÐ ñòåêëà îñóùåñòâëÿåòñÿ ââåäåíèåì îêñèäà öèðêîíèÿ.
Ïðîöåññ òåðìîîáðàáîòêè çàùèòíîãî ïîêðûòèÿ ïðîâîäÿò ïðè òåìïåðà-
òóðàõ íå áîëåå 500
î
Ñ. Ïðè áîëåå âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ íàáëþäàþòñÿ
èçìåíåíèÿ ïàðàìåòðîâ ðåçèñòîðîâ. Ïðàâèëüíî îòîææåíûå çàùèòíûå
ïëåíêè ïîëóïðîçðà÷íû è èìåþò ìàòîâóþ ïîâåðõíîñòü. Äëÿ óäîáñòâà
ñáîðêè ðàçëè÷íûå ñòðóêòóðû çàùèùàþò ïàñòàìè ðàçíîãî öâåòà.