Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 103 стр.

UptoLike

Составители: 

103
Ñêðàéáèðîâàíèå àëìàçíûì ðåçöîì â ïðîìûøëåííîì ïðîèçâîäñòâå ïðè-
ìåíÿåòñÿ, â îñíîâíîì, äëÿ ðàçäåëåíèÿ äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîäëîæåê
(ðèñ. 39). Ñðàâíèòåëüíî íåäàâíî ýòîò ìåòîä øèðîêî ïðèìåíÿëñÿ ïðè ðàçäå-
ëåíèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí. Â íàñòîÿùåå âðåìÿ îí íå óäîâëåòâîðÿ-
åò ïðîèçâîäñòâî ïî äâóì îñíîâíûì ïðè÷èíàì: íåáîëüøàÿ ãëóáèíà ðèñêè íå
îáåñïå÷èâàåò êà÷åñòâåííîå ðàçëàìûâàíèå òîëñòûõ ïëàñòèí áîëüøîãî äè-
àìåòðà, íåâåðòèêàëüíîñòü áîêîâûõ ãðàíåé çàòðóäíÿåò ïåðåíîñ êðèñòàëëîâ
èíñòðóìåíòîì ïðè àâòîìàòè÷åñêîé ñáîðêå. Íàêëîí áîêîâûõ ãðàíåé êðèñ-
òàëëîâ îáúÿñíÿåòñÿ òåì, ÷òî ðàçëàìûâàíèå ïëàñòèí ïîñëå ñêðàéáèðîâàíèÿ
ïðîèñõîäèò ïî ïëîñêîñòÿì ñïàéíîñòè êðèñòàëëà.
Ëàçåðíîå ðàçäåëåíèå ïëàñòèí è ïîäëîæåê. Ðàçäåëåíèå ñ ïîìî-
ùüþ ëàçåðíîãî èçëó÷åíèÿ îòíîñèòñÿ ê áåñêîíòàêòíûì ñïîñîáàì, ïðè
1
2
3
4
5
6
Ðèñ. 38. Ñõåìà ðåçêè äèñêîì ñ âíåøíåé àëìàçîñîäåðæàùåé ðåæóùåé êðîìêîé:
1 ñîïëî ïîäà÷è ñìàçûâàþùå-îõëàæäàþùåé æèäêîñòè; 2  ðåæóùàÿ êðîìêà
äèñêà; 3 îñíîâà äèñêà; 4 ðàçðåçàåìàÿ ïëàñòèíà; 5 êëåÿùèé ìàòåðèàë;
6 îïðàâêà äëÿ çàêðåïëåíèÿ ïëàñòèíû
V
1
4
a
á
2
3
Ðèñ. 39. Ñêðàéáèðîâàíèå àëìàçíûì ðåçöîì: à íàíåñåíèå ðèñîê;á ïîäëîæêà ñ
ðèñêàìè; 1  ðåæóùàÿ ãðàíü ðåçöà; 2 ëèíèè ðåçà; 3  îòäåëüíûå ïëàòû;
4  ïîäëîæêà