Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 104 стр.

UptoLike

Составители: 

104
êîòîðûõ îòñóòñòâóåò ìåõàíè÷åñêîå âîçäåéñòâèå íà îáðàáàòûâàåìûé
ìàòåðèàë. Ðàçäåëåíèå ìîæíî âûïîëíèòü ëèáî ñ ïðåäâàðèòåëüíûì ïî-
ëó÷åíèåì ðèñîê (ëàçåðíîå ñêðàéáèðîâàíèå), ëèáî ïóòåì ñêâîçíîãî ïðî-
õîäà âñåé òîëùè ìàòåðèàëà (ëàçåðíàÿ ðåçêà).
Îáðàçîâàíèå ðèñîê ïðîèñõîäèò â ðåçóëüòàòå èñïàðåíèÿ ìàòåðèàëà
ñôîêóñèðîâàííûì ëàçåðíûì ëó÷îì áîëüøîé ìîùíîñòè. Ïðè ñêâîçíîé
ðåçêå èìååò ìåñòî òàêæå è ïëàâëåíèå.
Ê íåäîñòàòêàì ëàçåðíîãî ðàçäåëåíèÿ îòíîñÿòñÿ: âûñîêàÿ ñòîèìîñòü
è ñëîæíîñòü îáîðóäîâàíèÿ; íåîáõîäèìîñòü çàùèòû ïîâåðõíîñòè ñïåöè-
àëüíîé ïëåíêîé îò çàãðÿçíåíèé ïðîäóêòàìè èñïàðåíèÿ è ðàñïëàâëåíèÿ,
âîçíèêíîâåíèå çîíû ñî ñòðóêòóðíûìè íàðóøåíèÿìè êðåìíèÿ, ñëîæíîñòü
ðàçäåëåíèÿ òîëñòûõ ïëàñòèí äèàìåòðîì áîëåå 100 ìì.
Ðàçëàìûâàíèå ïëàñòèí. Ïîñëå ñêðàéáèðîâàíèÿ ïëàñòèíû èëè ïîä-
ëîæêè ðàçëàìûâàþò ïî îñëàáëåííûì ðèñêàìè ëèíèÿì.
Ïðè ðó÷íîì ðàçëàìûâàíèè öèëèíäðè÷åñêèì âàëèêîì ïðîêàòûâà-
þò ïî ïëàñòèíå, ðàñïîëîæåííîé íà òîëñòîì ïðóæèíÿùåì îñíîâàíèè
ðåçèíå (ðèñ. 40). Íàïðàâëåíèå äâèæåíèÿ âàëèêà äîëæíî òî÷íî ñîâïà-
äàòü ñ íàïðàâëåíèåì ðèñîê. Ïëàñòèíó èëè ïîäëîæêó ñíà÷àëà ðàçäåëÿþò
íà ïîëîñû, çàòåì ïðè ïîâîðîòå íà 90
î
íà êðèñòàëëû èëè ïëàòû. Ïðè
ðó÷íîì ðàçëàìûâàíèè âàëèêîì êà÷åñòâî âûïîëíåíèÿ îïåðàöèè çàâèñèò
îò èñêóññòâà îïåðàòîðà. Ïðè äâèæåíèè âàëèêà íå âäîëü ðèñîê èëè ïðè
íåáëàãîïðèÿòíîì ðàñïðåäåëåíèè ìåõàíè÷åñêîé íàãðóçêè âîçìîæíî ðàç-
ëàìûâàíèå íå ïî ðèñêàì, à òàêæå ñêîëû è ëîìêà êðèñòàëëîâ. Ñïîñîá èç-
Ðèñ. 40. Ðàçäåëåíèå ñêðàéáèðîâàííûõ ïëàñòèí ñ ïîìîùüþ ïîäïðóæèíåííîãî
ðîëèêà: 1 ðîëèê; 2 ïëåíêà ïîëèýòèëåíà; 3 îïîðà; 4 ëèíèÿ ðàçäåëåíèÿ;
5  ïëàñòèíà.
1
P
V
2
3
4
5