Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 105 стр.

UptoLike

Составители: 

105
çà ìàëîé ïðîèçâîäèòåëüíîñòè è íåâûñîêîãî êà÷åñòâà ðàçëàìûâàíèÿ ïðè-
ìåíÿåòñÿ â ìåëêîñåðèéíîì ïðîèçâîäñòâå è â ëàáîðàòîðèÿõ.
Ïðè ðàçëàìûâàíèè íà ïîëóñôåðå (ðèñ. 41) ïðîèçâîäèòåëüíîñòü ïî-
âûøàåòñÿ è èñêëþ÷àåòñÿ âëèÿíèå îïåðàòîðà íà êà÷åñòâî âûïîëíåíèÿ
îïåðàöèè. Ðàçëàìûâàíèå ïðîèñõîäèò îäíîâðåìåííî ïî âñåì ðèñêàì â
ðåçóëüòàòå îáæàòèÿ ïëàñòèíû ïî ñôåðè÷åñêîé ïîâåðõíîñòè ñ ïîìîùüþ
õîðîøî ðàñòÿãèâàþùåéñÿ ýëàñòè÷íîé ìåìáðàíû. Äàâëåíèå îò ìåìáðà-
íû íà ðàçäåëÿåìóþ ïëàñòèíó ïåðåäàåòñÿ ãèäðàâëè÷åñêèì ñïîñîáîì èëè
ñæàòûì âîçäóõîì.
Ñïîñîá ïðèìåíÿþò äëÿ ðàçëàìûâàíèÿ ïëàñòèí äèàìåòðîì íå áîëåå
76 ìì íà êðèñòàëëû êâàäðàòíîé ôîðìû, òàê êàê ïðè áîëüøèõ äèàìåò-
ðàõ ïëàñòèí ïåðèôåðèéíûå êðèñòàëëû êðîøàòñÿ, à êà÷åñòâî ïðÿìîóãîëü-
íûõ êðèñòàëëîâ íèçêîå.
Êîíòðîëü ïîñëå ðàçëàìûâàíèÿ âûïîëíÿåòñÿ âèçóàëüíî ñ ïîìîùüþ
ìèêðîñêîïà ñ óâåëè÷åíèåì 100 200
õ
. Îòáðàêîâûâàþò íåðàçäåëåííûå
êðèñòàëëû, ðàçäåëåííûå íå ïî ðèñêå, ñ íåäîïóñòèìûìè ñêîëàìè, ïî-
âðåæäåíèÿìè ìåòàëëèçàöèè è äð.
Õèìè÷åñêîå ðàçäåëåíèå. Ðàçäåëåíèå ïóòåì ñêâîçíîãî õèìè÷åñêîãî
òðàâëåíèÿ ïðèìåíÿåòñÿ â íàñòîÿùåå âðåìÿ ñðàâíèòåëüíî ðåäêî äëÿ ïî-
ëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð è ïðåäóñìàòðèâàåò ñîîòâåòñòâóþùåå ïðåä-
âàðèòåëüíîå ìàñêèðîâàíèå ïîâåðõíîñòè, äëÿ ÷åãî ïðîâîäèòñÿ ïðîöåññ
ôîòîëèòîãðàôèè.
Ñæàòûé
âîçäóõ
(æèäêîñòü)
1
2
3
4
Ðèñ. 41. Ðàçäåëåíèå ñêðàéáèðîâàííûõ ïëàñòèí íà ïîëóñôåðå: 1ãèáêàÿ ìåìá-
ðàíà; 2  ïëàñòèíà; 3  ïîëóñôåðà; 4  âûõîä âîçäóõà