Математическое моделирование и методы расчета оптических наноструктур. Ловецкий К.П - 90 стр.

UptoLike

90
идентификации эфирных масел и в других исследованиях. В
инновационных научных исследованиях и современном производстве
оптических компонент используются автоматизированные поляриметры,
работающие в широком диапазоне длин волн. Обычно это
компьютеризированный комплекс, который позволяет решать широкий
круг задач по определению оптических параметров образцов, а часто и
параметры его геометрической структуры.
Поляриметрия позволяет измерить элементы матрицы Мюллера
исследуемого образца [13].
Эллипсометрия
Эллипсометрия является универсальным и мощным оптическим
инструментом исследования оптических свойств (комплексного показателя
преломления или же функции диэлектрической проницаемости) тонких
пленок и поверхностей. Эта методика находит применение в различных
областях науки и техники: от физики полупроводников и фотонных
кристаллов до микроэлектроники, биологии и медицины, от
фундаментальных исследований до практических промышленных
применений. Эллипсометрия - это высокочувствительная измерительная
технология, обеспечивающая широкие возможности характеризации
тонкопленочных покрытий. Кроме всего прочего, поскольку измерения
проводятся в оптическом диапазоне, эта технология является
бесконтактной и неразрушающей.
Анализируя изменение поляризации света, отраженного от образца,
эллипсометрия позволяет получать информацию о слоях, толщина которых
меньше длины волны падающего света, вплоть до толщины атомарного
слоя. С помощью эллипсометрических измерений возможно вычисление
комплекснозначного показателя преломления или тензора
диэлектрической проницаемости материала. С ее помощью можно оценить
физические постоянные и множество свойств образца, включающих