ВУЗ:
Составители:
а б
Рис.2.12. Двухколлекторный биполярный магнитотранзистор
Таким образом, изменение токов первого и второго коллекторов под дейJ
ствием внешнего магнитного поля описывается следующим выражением [45]:
к
э
nk
э
кк
I
L
BW
L
x
I ⋅
⋅⋅
⋅±=
∆
±=∆
*
2,1
2
µ
. (2.27)
Сенсоры магнитного поля, по сравнению с сенсорами механических веJ
личин, имеют существенное преимущество при использовании их в качестве
элементной базы систем ориентации, навигации и управления. Это преимущеJ
ство заключается в том, что сенсоры магнитного поля могут определять полоJ
жение объекта в пространстве, находящегося в состоянии покоя. Тогда как сенJ
соры механических величин – только в состоянии движения.
Технология изготовления сенсоров магнитного поля МСТ полностью совJ
местима с технологией изготовления ИС, что позволяет создавать сенсорные
элементы данного вида совместно с устройствами обработки, хранения и переJ
дачи информации на одном кристалле.
3. АКТЮАТОРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Актюатор – это механическое устройство, которое преобразовывает разJ
личные виды энергии (электрическая, химическая или термическая) в механиJ
ческую работу, излучение тепла и света (рис.3.1) [14,42].
В настоящее время разработаны термические, термопневматические, пьеJ
зоэлектрические, электростатические и магнитные актюаторы [7,9,12,48-52].
Термоактюаторы были разработаны одними из первых и использовались
в сенсорах измерения и определения потоков жидкости и газов в качестве наJ
гревательных элементов [2,48].
Основное применение термоактюаторы нашли в механизмах горизонтальJ
ного и вертикального поворота структур элементов МСТ [2,51].
Принцип работы термоактюаторов основан на тепловом расширении
структурных материалов элементов микросистемной техники.
Если при однородном нагреве температура твердого тела возрастает на
32
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 30
- 31
- 32
- 33
- 34
- …
- следующая ›
- последняя »
