Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 58 стр.

UptoLike

Составители: 

Последовательное сопротивление. На практике ключ часто включается
последовательно с линией передачи сигнала. Любое сопротивление, вносимое
ключом во время передачи сигнала (во включенном состоянии), вызывает сниJ
жение уровня сигнала. На низких частотах такое влияние ключа можно выраJ
зить в виде последовательного сопротивления, играющего роль во время прохоJ
ждения сигнала.
Напряжение срабатывания. Для всех ключей, работающих в автоматичеJ
ских системах, необходим сигнал управления, координирующий их состояние
(вкл/выкл). Уровень напряжения таких сигналов для разных ключей может
сильно различаться. В современных электромеханических ключах это напряжеJ
ние желательно снизить до уровня, на котором работают остальные компоненJ
ты схемы.
Срок службы для механических переключающих устройств, в состав коJ
торых входят механические части, является достаточно важной характеристиJ
кой. Поломки таких частей, вызванные усталостью материала или неблагоприJ
ятными окружающими условиями, снижают срок службы всей системы.
Резонансная частота. Все движущиеся части механических ключей имеют
свою собственную резонансную частоту, которую можно выразить через их
массу и коэффициент упругости. На этих частотах потенциальная и кинетичеJ
ская энергии входят в резонанс, что ограничивает максимальную скорость
переключения, но никак не влияет на частоту передаваемых сигналов.
Согласование по фазе и амплитуде является важной характеристикой
многоканальных ключей, поскольку она определяется конструкцией всего
устройства и параметрами отдельных каналов: их длиной и потерями в них.
Поэтому, как правило, для каждого канала определяются свои фазовые и амJ
плитудные характеристики.
Несмотря на то, что многие из микромеханических ключей обладают отJ
личными характеристиками низкими вносимыми потерями и высоким коэфJ
фициентом развязки обычно вплоть до частоты нескольких сотен МГц, они
имеют очень низкое быстродействие. Обычно время переключения таких клюJ
чей составляет 2-50 мс, и они рассчитаны только на несколько миллионов
переключений. Это обусловлено тем, что электромеханические ключи осущеJ
ствляют реальный разрыв и соединение линии передач внутри устройства. МакJ
симальное быстродействие таких ключей (их скорость переключения) опредеJ
ляется механической резонансной частотой подвижных частей.
3.4. Интегральные микродвигатели
В настоящее время известны следующие типы интегральных микродвигаJ
телей [65-68]:
1. Электростатические воздушные планарные микродвигатели (ЭВПД).
2. Электростатические диэлектрические планарные микродвигатели
(ЭДПД).
3. Пьезоэлектрические микродвигатели (ПД).
В электромеханике известны два способа передачи энергии от статора к
58