Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 60 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

На рис. 3.28 представлен планарный электростатический микродвигатель
с двенадцатью полюсами статора (
12
1
=n
) и восьмью – ротора (
8
2
=n
) [65].
а б
Рис. 3.28. Планарный электростатический двигатель:
а – начальное положение ротора микродвигателя;
б – перемещение ротора микродвигателя
Достоинствами данного вида электростатических микродвигателей явJ
ляются простота конструкции и ни столь строгие требования к структурному
материалу микродвигателя.
В основном, в качестве структурного материала планарных микродвигаJ
телей, используются электропроводящие материалы.
Угловой шаг размещения полюсов статора и ротора определяется следуJ
ющим выражением (см. рис. 3.28) [65]:
,
2
2
;
2
1
2
1
n
n
π
τ
π
τ
⋅
=
⋅
=
(3.14)
где
2
,
1
ττ
– угловой шаг полюсов статора и ротора соответственно;
2
,
1
nn
– коJ
личество полюсов на статоре и роторе соответственно.
Рассмотрим работу планарного электростатического микродвигателя.
Предположим, что напряжение приложено к полюсу статора 1 (см. рис. 3.28,а),
т.е. микродвигатель находится в относительном равновесии. Если напряжение
будет приложено к полюсу 2 статора, то положение ротора изменится так, что
он займет новое положение относительно данного полюса, т.е. вращающий моJ
мент, действующий на ротор, повернет его на некоторый угол
ϕ
(см.
рис. 3.28,б). Далее цикл повторяется.
60

Страницы