ВУЗ:
Составители:
Значения
2
τ
и
s
τ
в зависимости от
2
n
2
n
4 6 8 11 13 16 18 20
2
τ
90
0
60
0
45
0
32.7
0
27.7
0
22.5
0
20
0
18
0
s
τ
30
0
±30
0
–15
0
–2.7
0
2.3
0
7.5
0
±10
0
–6
0
Вращающий момент, действующий на ротор, может быть описан следуюJ
щим выражением:
2
2
1
U
s
CW
M
τϕ
∆
=
∆
∆
=
, (3.39)
где
C∆
– изменение емкости между статором и ротором;
U
– напряжение межJ
ду статором и ротором.
На рис.3.30 представлен планарный электростатический микродвигатель,
изготовленный с использованием MUMPs-технологии [65].
Рис.3.30. Планарный электростатический микродвигатель
3.4.2. Электростатические диэлектрические планарные
микродвигатели
В электростатических диэлектрических планарных двигателях микродвиJ
жение создается при электростатическом накате металлизированной органичеJ
ской пленки на поверхность металла или диэлектрика (слои SiO
2
, Al
2
O
3
) в завиJ
симости от того, куда обращен слой металлизации. Основным элементом
ЭДПД является пленочная петля (диаметр – несколько миллиметров) из металJ
лизированной пленки полиэтилентерефталата. Характерная особенность ЭДПД
– накопление объемного заряда в диэлектрике при каждом акте электростатичеJ
ского наката. Этот заряд формируется на глубоких энергетических центрах (лоJ
вушках), характерных для широкозонных некристаллических диэлектриков и
препятствует повторному накату металлической пленки. Уменьшение влияния
объемного заряда возможно за счет использования импульсов напряжения с боJ
лее сложной формой – наполнения их более короткими импульсами с разной
62
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 60
- 61
- 62
- 63
- 64
- …
- следующая ›
- последняя »
