Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 63 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

полярностью. Однако в этом случае значительно снижается энергетическая эфJ

фективность микродвигателя [66].

Схематически принцип работы такого микродвигателя иллюстрирует

рис. 3.31 [66].

Рис. 3.31. Принцип работы планарного микродвигателя

на основе тонких сегнетоэлектрических пленок:

1 – статор; 2 – ротор; 3 – лепесток; 4 – направляющие;

5 – диэлектрическая пленка; 6 – электрод; 7 – подложка

Неподвижная пластина (статор) 1 представляет собой кремниевую

подложку 7, на поверхность которой последовательно нанесен электрод 6, а заJ

тем сегнетоэлектрическая пленка 5. Подвижная пластина (ротор) 2, разделенная

от статора зазором d, с синтезированными на ее поверхность металлическими

лепестками 3 длиной l перемещается относительно статора по направляющим

(по опорам) 4. При подаче импульса напряжения между лепестком 3, находяJ

щимся в исходном состоянии (А), и электродом 6 происходит электростатичеJ

ский накат части поверхности лепестка на поверхность сегнетоэлектрика (соJ

стояние В). Перемещающаяся в пространстве металлическая пленка изгибается,

происходит ее натяжение и она передает движение пластине 2, осуществляя таJ

ким образом электромеханическое преобразование энергии. Длина наката

)(tl

возрастает во время действия импульса напряжения

, соответственно изменяJ