Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 65 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис.3.32. Пьезоэлектрический микродвигатель

Статор представляет собой мембрану, закрепленную на подложке с помоJ

щью упругого подвеса (рис.3.33). В центре мембраны расположен пьезоэлекJ

трический слой ZnO. Диаметр статора – 2 мм.

На рис.3.34 представлен ротор пьезоэлектрического микродвигателя [68].

Рис.3.33. Статор пьезоэлектрического микродвигателя

Как видно на рис.3.34, размеры ротора составляют: длина – 5 мм, диаJ

метр– 2 мм. Высота зубцов ротора – 100 мкм.

При отсутствии внешнего напряжения статор и ротор находятся в покое

(рис.3.35,а). При подаче импульса напряжения на пьезоэлектрический актюатор

статора происходит изменение его геометрических размеров, что в свою очеJ

редь приводит к деформации зубцов ротора (рис.3.35,б). Таким образом, ротор

под действием сил упругости смещается на некоторое расстояние вокруг своей

оси. Когда напряжение убирается, статор возвращается в первоначальное полоJ

жение, а ротор оказывается смещенным на некоторое расстояние относительно

своего первоначального положения. Далее цикл повторяется.