ВУЗ:
Составители:
а б
Рис.3.34. Ротор пьезоэлектрического микродвигателя:
а – внешний вид ротора;
б – зубец ротора
Рис.3.35. Принцип работы пьезоэлектрического микродвигателя:
а – до активации пьезоактюатора;
б – после активации пьезоактюатора
Данный вид микродвигателей изготавливается с использованием LIGA-
технологии, позволяющей создавать роторы устройства с большим аспектным
отношением. Основным недостатком данной конструкции микродвигателя явJ
ляется наличие операции микросборки в технологическом процессе изготовлеJ
ния, что не позволяет использовать групповые методы изготовления и снижает
степень интеграции данных устройств.
4. ЛАБОРАТОРИИ-НА-КРИСТАЛЛЕ
Под термином «лаборатория-на-кристалле» понимается миниатюрное
устройство, предназначенное для проведения различных химических и физичеJ
ских процессов со сверхмалыми объемами и количествами веществ неорганичеJ
ской и органической природы, находящихся в жидком или газообразном состоJ
янии, с высокой степенью локализации воздействия [69-73].
Типичные размеры элементов лабораторий составляют от нескольких миJ
66
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 64
- 65
- 66
- 67
- 68
- …
- следующая ›
- последняя »
