Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 87 стр.

UptoLike

Составители: 

уточнение решения для реализации используемых подсистем, выполняется их
оптимизация, после чего по их итогам проводится итерационный цикл уточнеJ
ния параметров всей системы в целом. Далее выполняется электромагнитное и
электромеханическое моделирование разработанной микроэлектромеханичеJ
ской системы, и проект микросистемы передается на производство для техноJ
логической проработки. В этом случае среднее время проектирования элеменJ
тов микрооптикоэлектромеханических систем (МОЭМС) составляет около одJ
ной недели [80-83].
Рис.5.9. Рабочее окно программы W-Edit САПР Tanner Pro
Путь проектирования снизу вверх является более полным и позволяет соJ
здавать модели подсистем разрабатываемой микросистемы, не имеющихся в
библиотеках поведенческих моделей пакета CoventorWare. При данном способе
проектирования, вначале задается спецификация устройства самого низшего
уровня, производится прорисовка его топологии, электромагнитное и электроJ
механическое моделирование. Итерационный цикл оптимизации таких
устройств может длиться от нескольких часов до нескольких дней. Далее оптиJ
мизированные устройства группируются в более сложные интегрированные
микросистемы, которые также анализируются и оптимизируются. После чего,
проект МОЭМС передается на производство. При таком подходе проектироваJ
ния микросистем среднее время составляет около трех месяцев [80-83].
Пакет CoventorWare состоит из четырех основных программ, обеспечиваJ
ющих разработчика всем необходимым инструментарием для проектирования
микросистем: Architect, Designer, Analyser, System Builder [80-83].
5.3.1. Программа Architect
Программа Architect обеспечивает разработку проектов микроэлектромеJ
ханических и микрожидкостных устройств на основе поведенческих моделей,
т.е. по пути проектирования сверху вниз [80,81].
На рис.5.10 представлен маршрут проектирования микросистем, испольJ
87