Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 88 стр.

UptoLike

Составители: 

зуемый программой Architect в САПР CoventorWare.
Первый модуль программы Architect позволяет разрабатывать структурJ
ные и принципиальные схемы на основе поведенческих моделей электромехаJ
нических, оптических, сверхвысокочастотных и жидкостных устройств, а также
типовых радиоэлементов [80,81].
Второй модуль выполняет моделирование созданных микросистем и цифJ
ровых схем управления с помощью Spice-подобных программ.
Разработка схемы проекта
МЭМС, описание принципов
функционирования подсистем
проекта МЭМС
Библиотека поведенческих
моделей элементов:
- оптических;
- электромеханических;
- микрожидкостных;
- радиоэлементов
Введение топологических
параметров МЭМС и свойств
структурных материалов
Моделирование проекта
Генерация топологии
проекта МЭМС
Генерация 3D топологии
проекта МЭМС
Моделирование физических
процессов, лежащих в основе
функционирования проекта
МЭМС
Создание и экспорт
макромоделей подсистем
проекта МЭМС
Architect
Designer
Analyzer
System Builder
Рис.5.10. Маршрут проектирования микросистем, используемый
программой Architect в САПР CoventorWare
Третий модуль программы Architect производит генерацию послойного
описания топологии разработанной микросистемы с использованием полноJ
стью параметризированных топологических моделей, которое затем может
быть передано в форматах GDSII, CIF в программу Designer, также входящую в
состав пакета CoventorWare [80,81].
88