Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 95 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

Программа ANSYS предусматривает два метода решения задач, связанJ
ных с расчетом конструкций (Structural problems): h-метод и p-метод. h-метод
может применяться при любом типе расчетов (статический, динамический, тепJ
ловой и т.п.), а p-метод – только в линейном статическом анализе. Кроме того,
h-метод требует более частой сетки, чем p-метод [85].
На этапе постпроцессорной обработки пользователь может обратиться к
результатам решения и интерпретировать их нужным образом.
Результаты решения включают значения перемещений, температур,
напряжений, деформаций, скоростей и тепловых потоков.
Итогом работы программы на постпроцессорной стадии является графиJ
ческое и (или) табличное представление результатов.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Необходимо отметить, что номенклатура сенсорных и актюаторных элеJ
ментов микросистемной техники очень широка. В настоящее время элементная
база МСТ в значительной степени развивается благодаря разработке и применеJ
нию новых структурных материалов, технологий изготовления, физических эфJ
фектов и принципов функционирования сенсорных и актюаторных элементов,
расширению областей их использования.
В данном учебном пособии рассмотрены основные технологии изготовлеJ
ния и принципы функционирования сенсорных и актюаторных элементов МСТ,
получивших наибольшее распространение за последнее десятилетие. Также
рассмотрены системы автоматизированного проектирования элементов микроJ
системной техники.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. Климов Д.М., Васильев А.А., Лучинин В.В., Мальцев П.П. Перспективы
развития микросистемной техники в XXI веке // Микросистемная техJ
ника.– 1999.– №1.– С.3-6.
2. Соколов Л.В. Сенсорные твердотельные микроприборы и микросистеJ
мы на основе MEMS-технологии // Зарубежная электронная техника.–
1999.– №1.– С.93-116.
3. Корляков А.В., Лучинин В.В., Мальцев П.П. МикроэлектромеханичеJ
ские структуры на основе композиции «карбид кремния-нитрид алюJ
миния // Микроэлектроника.– 1999.– Т.28. №3.– С.201-212.
4. Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение.– М.: ТехJ
носфера, 2004.– 528с.
5. Васенко А., Епифанов В., Юдинцев В. Микроэлектромеханические сиJ
стемы. Настало время выходить в свет // Электроника: Наука, ТехнолоJ
гия, Бизнес.– 1998.– №5-6.– С.55-59.
6. Коноплев Б.Г. Микрооптикоэлектромеханические системы для экстреJ
мальных условий эксплуатации // Труды VI Международной научно-
95

Страницы