Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Лысенко И.Е. - 96 стр.

UptoLike

Составители: 

<';#  #J
 ) 3(,+KK61B >7 >>- %KKK1B
=1%5*1
41 /;181?8181(J
€€+1B%KKK1Bš%1B=1%$%51
*1 I?1…1+#(1(1= J
9€€+1B
%KKK1Bš%1B=1`%`01
K1 =?181>#   J
 €€~9J
1B%KK*1Bš$1B=10$4K1
%&1+#(1(1>81;1^<;1…1>J
€€+1B$&&%1Bš%&1B=1%*
$`1
%%1(/1,1/€€>@@,1B%K*$1B
>14&1š51B=15`K1
%$181b1+ 1-1B>1
17>$&&$1B2K$1
%21rhŽXUm1f1ohsSQRhWQTZWXRYZT[T\VlTSPQRSTXZ\QZXXSQZ\€€DXZUTSmXkQXŽ1B
%KK01BkT[1%0š$1Bww1%0$$1
%`1N†NDWXRYZT[T\QXU1jmr7YWWw7€€WQPh1QPh\1lS1
%51NQSD1pXUQ\ZhZqWXUWTlZXtW\XZXShWQTZQZWX\ShWXqUVUWXPUXPsXqqQZ\
N†ND€€CZkQWXqWh[dhWWYX$Zq†[XRWSTZQRiQSRgQWUhZqDVUWXPUiTZlXSXZRX
3†iDKK61B%KKK1
%01?8181>…1+18#;1;1_J
    €€ +
1B%KKK1Bš%1B=14%%1
%41†YSlX[qy1|XUU[{1rTŽX|1DRYg[™iY1yXsXSr1NhWXSQh[TlrCvf
WXRYZT[T\V€€NQRSTUVUWXPOXRYZT[T\QXU1B%KKK1Bš51Bww1%&5%%$1
%*1mgwSXRYWm1|hZXPhZZO1nQTWWXS{1|hg\X[W›1nT[VPXSPhWXSQh[UlTSPQJ
RSTUVUWXPWXRYZT[T\QXU€€NQRSTUVUWXPOXRYZT[T\QXU1B%KK*1Bš51Bww1``
`*1
%K1ETWYf1EhRYXSy1|XRdX[XN1Ng[[XSœ1p1mgwSXRYWm1DWSTYSPhZZN1
ohsSQRhWQTZTlrCvfhRRX[XShWQTZUXZUTSUsVh[Q\ZXqPT[qQZ\€€NQRSTUVUWXP
OXRYZT[T\QXU1B%KK01Bš$1Bww1%&`%&*1
$&1/81;1>1b1=J
€€+1B$&&&1Bš%1B=1K%21
$%1mQW™YhgwWœ[XQUU[|1›1EhgXSy1vgZWYXS†1rhgsXSUYXQPXS›1|hgsX[W›1
pXkX[TwPXZW Tl RXShPQR PQRSTUWSgRWgSXU €€ NQRSTUVUWXP OXRYZT[T\QXU1B
%KK01Bš$1Bww1%2&%2`1
$$1œZQWWXSm1vgZWYXS†1•qXPXSi1NhRQX•XŽUdQj1iXShPQRPQRSTUWSgRWgSXU
hZq wTWXZWQh[ hww[QRhWQTZ €€ NQRSTUVUWXP OXRYZT[T\QXU1B %KK01B š$1B
ww1%25%2*1
$21OYQXUf1nQTWWXS{1|h\XZh•1o1fZXŽPXWYTqlTSPhUUlhsSQRhWQTZTl
PXWh[[QR PQRSTUWSgRWgSXU €€ NQRSTUVUWXP OXRYZT[T\QXU1B %KK*1B š`1B
K0