Физические основы микросистемной техники. Механцев Е.Б - 45 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

45
Чтобы определить силы, действующие на диполь, необходимо вычислить
изменение напряженности поля Е(х,у) вдоль силовой линии, то есть градиент
модуля Е.
Произведение градиента модуля Е на размер диполя
∆
l и его заряд q даст
значение силы F, действующей на диполь и направленной вдоль силовой ли-
нии, т.е.:
EgradlqyxF
⋅
∆
⋅
=
),(.
Из изложенного ясно, что основным фактором, позволяющим уве-
личить силы, действующие на диполь, является градиент поля. При этом
неоднородность поля, создаваемая в рабочей зоне насоса, должна прояв-
ляться на расстояниях, соизмеримых с размерами дипольной молекулы.
Конструкция и технология изготовления микронасоса, последовательно
реализующая идеи интеграции, соответствует структура, представленная на
рис. 3.17. Отдельные самостоятельные секции сформированы в кремниевой
пластине ориентации [100] в виде сетки (матрицы) отдельных ячеек, соединен-
ных параллельно. Секция насоса содержит два электрода: кремниевый, имею-
щий в сечении V-образный профиль, и металлический, разделенные тонкой ди-
электрической пленкой двуокиси
или нитрида кремния.
Рис. 3.17. Структура электростатического микронасоса:
1 – подложка; 2 – диэлектрик; 3 – металлический электрод
Технологический процесс изготовления такой структуры основан на по-
следовательности типовых операций, хорошо известных в микроэлектронике.
Некоторая специфика имеет место только при травлении: после анизотропного
травления ямок (отверстий) пирамидальной структуры на всю глубину полу-

Страницы