101 вопрос о нанотехнологиях. Нагорнов Ю.С. - 59 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

А) Б)

Рис. 45. Прохождение зонда АСМ в методе постоянной высоты (А) и методе постоянной

силы (Б).

При сканировании относительно мягких образцов с развитой поверхностью сила

давления зонда на поверхность варьируется, одновременно неравномерно прогибается и

поверхность образца. В результате полученный рельеф поверхности может быть искажен.

Возможное наличие существенных капиллярных сил, обусловленных наличием слоя

воды, также приводит к ухудшению разрешения.

Вопрос 54. Что такое контактный метод рассогласования?

Скорость сканирования в методе постоянной силы ограничена постоянной времени

системы обратной связи. Этот недостаток в значительной степени может быть преодолен

с использованием того факта, что в процессе сканирования новое значение величины

изгиба кантилевера, т.е. сигнал рассогласования, устанавливается быстрее, чем система

обратной связи приведет величину изгиба к предустановленному значению. Сигнал

рассогласования системы обратной связи, возникающий в процессе сканирования с

использованием метода постоянной силы содержит дополнительную информацию

относительно рельефа поверхности. Он может быть использован для более полного

воспроизведения рельефа.

Контактный метод рассогласования может рассматриваться как промежуточный

между методом постоянной силы и методом постоянной высоты, если коэффициент

усиления системы обратной связи (т.е. скорость отработки сигнала рассогласования)

устанавливается таким, чтобы система была способна отрабатывать относительно гладкие

особенности рельефа и в то же время быть достаточно медленной, чтобы отрабатывать

крутые ступеньки. В результате сигнал рассогласования будет плохо отображать гладкие

особенности рельефа и с высоким контрастом отображать резкие шероховатости (рис.46).