ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
1.2 Техника измерений атомно-силовой микроскопии
Получение АСМ изображений рельефа поверхности связано с регистрацией малых изгибов
упругой консоли зондового датчика. В атомно-силовой микроскопии для этой цели широко
используются оптические методы (рис. 4).
Оптическая система АСМ юстируется таким образом, чтобы излучение
полупроводникового лазера фокусировалось на консоли зондового датчика, а отраженный
пучок попадал в центр фоточувствительной области фотоприемника [1]. В качестве
позиционно чувствительных фотоприемников применяются четырехсекционные
полупроводниковые фотодиоды. Основные регистрируемые оптической системой параметры -
это деформации изгиба консоли под действием Z-компонент сил притяжения или отталкивания
( F Z) и деформации кручения консоли под действием латеральных компонент сил ( F L)
взаимодействия зонда с поверхностью. Если обозначить исходные значения фототока в
секциях фотодиода через Ioi, I02, I03, I04,а через Ii, I2, I3, I4 - значения токов после изменения
положения консоли, то разностные токи с различных секций фотодиода будут однозначно
характеризовать величину и направление изгиба консоли зондового датчика АСМ.
Действительно, разность токов вида
пропорциональна изгибу консоли под действием силы, действующей по нормали к
поверхности образца (рис. 5(а)). А комбинация разностных токов вида
характеризует изгиб консоли под действием латеральных сил (рис. 5(б)).
10
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- …
- следующая ›
- последняя »