ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
24
Криогенные цеолитовые насосы. Их обычное применение –
предварительная откачка СВВ систем с магниторазрядными и ионными
насосами, в которых давление
редко поднимается до атмосфер-
ного. Они эффективно отка-
чивают систему от 10 до ~ 10
-2
Ра. Цеолитовый насос содержит
гранулы цеолита в замкнутом
объеме (рис. 11). Значительное
увеличение сорбционной способ-
ности цеолита при охлаждении
стенок насоса жидким азотом
составляет принцип откачки. Для
удобства работы обычно
используют два насоса один за
другим (предварительная откачка
с помощью первого насоса и
откачка до предельных давлений
с помощью второго). После
завершения цикла откачки
цеолит восстанавливают прос-
тым прогревом, при этом
абсорбированные газы выпускаются в атмосферу через выпускной
клапан.
Магниторазрядные насосы. В основе действия магниторазрядного
насоса лежит поглощение газов титаном, распыляемым при
высоковольтном разряде в магнитном поле. Одиночная разрядная
ячейка насоса (рис. 12) образована двумя титановыми катодными
пластинами и анодом из нержавеющей стали. Разрядная ячейка
помещена в магнитное поле, перпендикулярное плоскости катодов. При
подаче на электроды разрядной ячейки высокого напряжения
(положительного на анод по отношению к катодам в насосах НЭМ или
отрицательного на катоды по отношению к аноду в насосах НОРД) в
ячейке возникает газовый разряд в широкой области низких давлений.
Образующиеся в разряде положительные ионы газа ускоряются
электрическим полем к катодам и внедряются в них, при этом
происходит распыление материала катода (титана) и осаждение его на
стенках анода и других поверхностях насоса. Откачное действие насоса
определяется внедрением ионов газа в материал катода (ионной
откачкой) и поглощением остаточных газов распыленным титаном
Рис. 11. схематическая диаграмма,
показывающая внутреннее устройство
цеолитового насоса.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 22
- 23
- 24
- 25
- 26
- …
- следующая ›
- последняя »
