ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
25
(сорбционной откач-кой). В
зависимости от произ-
водительности магниторазряд-
ные насосы содержат десятки и
сотни разрядных ячеек, кото-
рые объединяются в электро-
разрядные блоки, помещенные
в корпус из нержавеющей
стали. Магнитное поле напря-
женностью 700 Э создается
оксидно-бариевыми магнитами,
расположенными с внешней
стороны корпуса. Насос обезга-
живается прогревом при
температуре 400–500 °С.
Благодаря отсутствию в насосах накаленных и движущихся деталей,
а также рабочей жидкости они обладают высокой надежностью,
большим сроком службы (десятки тысяч часов), просты в обслуживании
и не выходят из строя при аварийном попадании атмосферы в
вакуумную систему. Насосы позволяют оценивать давление в системе
по разрядному току. Они работают в области высокого и сверхвысокого
вакуума и дают возможность получить предельное остаточное давление
1·10
-8
Ра.
Таблица 2. Относительная быстрота откачки газов магниторазрядными насосами
Газ
Быстрота
откачки, %
Газ
Быстрота
откачки, %
Водород
270
Окись углерода
85
Метан
270
Двуокись углерода
85
Аммиак
170
Кислород
55
Пары воды
130
Гелий
11 - 20
Воздух
100
Аргон
1 - 4
Азот
100
3. Описание экспериментальной установки для насыщения
образцов водородом
Рис. 12. Схема разрядной ячейки: 1 –
пористый анод; 2 – катодные пластины.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 23
- 24
- 25
- 26
- 27
- …
- следующая ›
- последняя »
