ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
3
ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ………………………………………………………………
5
Лабораторная работа №1 "Получение и измерение
сверхвысокого вакуума"………………………………………………
6
1.Общие сведения о вакууме и вакуумных насосах ……………
6
1.1.Вакуум………………………………………………..........
6
1.2. Вакуумные насосы ……………………………………….
7
1.2.1. Насосы среднего вакуума………………………………
8
1.2.2. Высоковакуумные насосы …………………………….
10
1.2.3. Сверхвысоковакуумные насосы ………………...…….
11
2. Измерение вакуума…………………..…………………………
14
3. Порядок выполнения работы…………………………………..
15
3.1. Вакуумная система масс-спектрометра вторичных
ионов МС-7201М…………………………………….
15
3.2. Получение форвакуума…………………………………..
17
3.3. Получение высокого вакуума……………………………
18
3.4. Получение СВВ в камере дифнасоса и в системе в
целом…………………………………………………..
19
4. Требования к отчету…………………………………………….
19
5. Контрольные вопросы………………………………………….
20
Дополнительная литература………………………………….
20
Лабораторная работа № 2 "Получение и диагностика ионных
пучков"…………………………………………………….....................
20
1.Основные понятия и общие сведения о получении ионных
пучков………………………………………………………………
21
1.1. Плазменные ионные источники………………….….......
22
1.2. Источники ионов с ионизацией полем и электронным
ударом………………………………………………………….
25
1.3. Ионный источник масс-спектрометра вторичных ионов
МС-7201М…………………………………………...................
26
2. Задание………………………………………………………......
27
3. Порядок запуска ионного источника…………………………..
28
4. Требования к отчету…………………………………………….
28
5. Контрольные вопросы………………………………………….
29
Дополнительная литература………………………………….
29
Лабораторная работа № 3 "Получение, компьютерная запись и
обработка масс спектров с помощью масс-спектрометре
вторичных ионов МС-7201М"………………………………………...
29
1. Устройство и работа составных частей масс-спектрометра
вторичных ионов МС-7201М……………………………………..
30
1.1. Технические характеристики основных узлов
