Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 5 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

5
ВВЕДЕНИЕ
Вторичная ионная масс-спектрометрия (ВИМС) – современный и
один из самых распространенных методов послойных исследований
приповерхностных слоев твердого тела. Это обусловлено следующими
обстоятельствами.
1. Анализирующий ионный пучок обеспечивает сигнал ВИМС и
распыление (т.е. профилирование) одновременно.
2. Распыленные частицы отражают действительный элементный и
химический состав приповерхностной области твердого тела.
3. Пучки ионов легко фокусируются и ими легко управлять, так что
при сканировании пучком по поверхности можно получать карты
распределения элементов и примесей, характеризующие распределение
химического состава по поверхности. Таким образом, возможен
трехмерный элементный и химический анализ.
4. При типичных для ВИМС энергиях и плотностях тока первичных
ионов распыленные частицы поступают из верхних одного-двух
атомных слоев поверхности, так что ВИМС является поверхностно-
чувствительным методом и должен давать информацию с глубин, мас-
штаб которых таков же, как у других методов спектроскопии поверх-
ности.
5. Уникальной особенностью ВИМС по отношению к большинству
других аналитических методов исследования поверхности является
возможность различения содержания изотопов (изотопных эффектов) в
приповерхностных слоях. Эта особенность, например, представляет
ценность при изучении поверхностных химических реакций с
использованием "меченых" реагентов.
6. Отметим также возможность исследования профилей
распределения изотопов водорода в приповерхностных слоях, которые
невозможно изучать ни одним из известных методов спектроскопии
поверхности, кроме ВИМС.
В настоящие методические указания вошли теоретическое введение
и инструкции к выполнению трех лабораторных работ, разработанных
на кафедре общей физики Томского политехнического университета
для магистрантов, обучающихся по направлению "Физика
конденсированного состояния". Методические указания направлены на
овладение магистрантами одного из самых современных методов
исследования поверхности твердого тела. Методические указания
охватывают все стадии эксперимента (получение сверхвысокого
вакуума, получение ионного пучка, запись и обработка
экспериментальных данных) по изучению послойных профилей

Страницы