Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 7 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

7
камерах для имитации космического пространства (объѐмом в десятки
м
3
) граница между средним и высоким вакуумом порядка 10
-5
мм рт. ст.
Понятие сверхвысокого вакуума связывается не с величиной
отношения λ/d, а со временем τ, необходимым для образования
мономолекулярного слоя газа на поверхности твѐрдого тела, которое
оценивается по формуле:
6
10
p
где η – коэффициент захвата частицы поверхностью. Сверхвысоким
вакуумом называют область давлений р< 10
-8
мм. рт. ст., когда τ >
нескольких минут.
1.2. Вакуумные насосы
Вакуумные насосы подразделяют на 4 класса: низкого, среднего,
высокого и сверхвысокого вакуума. К низковакуумным относят
механические поршневые и двухступенчатые насосы, ротационные
пластинчатые, двухроторные и винтовые насосы, насосы с частичным
внутренним сжатием и водокольцевые. Давление, достигаемое в них,
составляет P = 0,3–1 Ра.
К средневакуумным относят пластинчато-роторные насосы и насосы
с катящимся ротором, сорбционные насосы, создаваемое предельное
(минимальное) давление в которых – P = 1–10
-1
Ра.
К высоковакуумным насосам относят молекулярные и
турбомолекулярные, давление в которых P=10
-4
–10
-6
Ра.
К сверхвысоковакуумным относят магниторазрядные, геттерно-
ионные, конденсационные насосы, а также различные их модификации
(P=10
-7
–10
-9
Ра).
Насосы низкого вакуума в сверхвысоковакуумных (СВВ) системах
не применяются.
СТЕПЕНИ ВАКУУМА
низкий
средний
высокий
сверхвысо
кий
Диапазон
давлений,
Ра
10
3
–
133
133–1,ЗЗ· 10
-1
1,33·10
-1
–
1,33·10
-5
«1,33·10
-6
Диапазон
давлений,мм. рт. ст.
750 – 1
1 – 10
-3
10
-3
– 10
-7
10
-8
Число молекул
в 1 м
3
10
25
–
10
22
10
22
–10
19
10
19
–10
16
«10
16
Режим течения
газа
Вязкос
тный
Переходный к
молекулярному
Молекуляр
ный
Молекуля
рный

Страницы