Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 6 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

6
распределения элементов на базе модернизированного сотрудниками
кафедры общей физики серийного масс-спектрометра вторичных ионов
МС-7201М.
Лабораторная работа № 1
"Получение и измерение сверхвысокого вакуума (СВВ)"
Цель работы: изучить методы и аппаратуру для получения и
измерения сверхвысокого вакуума в системе масс-спектрометра
вторичных ионов МС-7201М.
1. Общие сведения о вакууме и вакуумных насосах
1.1. Вакуум
Вакуум (от лат. vacuum – пустота) – среда, содержащая газ при
давлениях, существенно ниже атмосферного. Характеризуется
соотношением между средней длиной свободного пробега λ молекул
газа и размером d, характерным для каждого конкретного процесса или
прибора. Таким размером могут быть расстояние между стенками
вакуумной камеры, диаметр вакуумного трубопровода, расстояние
между электродами электровакуумного прибора и т. п. Величина λ,
равна отношению средней скорости молекулы v
ср
к числу Z
столкновений, испытываемых ею за единицу времени. Эту величину
можно также выразить через диаметр молекулы d
m
и числом молекул п
в единице объѐма:
2
1
2
m
dn
(для электронов λ в 5–6 раз больше).
В зависимости от величины отношения λ/d различают низкий
(λ/d<1), средний (λ/d~1), высокий (λ/d>1) вакуум. В низком вакууме
преобладают столкновения молекул друг с другом, в высоком
преобладают столкновения молекул со стенками камеры. В обычных ва-
куумных установках и приборах (d=10 см) низкому вакууму
соответствуют давления р>10
2
Ра (1 мм рт. ст.), среднему – от 10
2
до
10
-1
Ра (1–10
-3
мм рт. ст.), высокому – р<10
-1
Ра (10
-3
мм рт. ст.) (См.
табл. 1). В порах или каналах диаметром ~1 мкм высокому вакууму
соответствует давление начиная с десятков и сотен мм рт. ст., а в

Страницы