Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 8 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

8
Рис. 1. Схема пластинчато-
роторного вакуумного насоса
1.2.1. Насосы среднего вакуума
Устройство и работа механического насоса 2НВР-5ДМ
Для предварительной откачки до давления ~10
-3
10
-2
мм. рт. ст.
используется механический насос 2НВР-5ДМ, относящийся к типу
пластинчато-роторных
Процесс откачки в пластинчато-роторных насосах основан на
механическом всасывании и вытал-
кивании газа вследствие периодичес-
кого изменения объема рабочей
камеры, образуемого цилиндром,
крышками и движущимися частями
насоса ротором и пластинами. В
пластинчато-роторных вакуумных
насосах маслозаполненного типа
(рис.1) внутри цилиндрической
расточки корпуса 1 эксцентрично
расположен цилиндрический ротор
2. В пазу ротора размещены две
пластины 8 и 9 с пружиной 7 между ними. При вращении ротора
пластины центробежными силами и силой упругости пружины
прижимаются к внутренней расточке корпуса и делят серпообразную
полость между ротором и расточкой корпуса на две полости. При
вращении вала объем одной полости периодически увеличивается и в
нее всасывается газ; в это же время объем другой полости периодически
уменьшается и в ней происходит сжатие газа. ПРВН выполняют одно- и
двухступенчатыми. В двухступенчатых насосах для уменьшения потерь
между первой и второй ступенями их соединяют каналом а. Клапан 6 на
линии нагнетания второй ступени погружен в основной масляный
резервуар 10. В двухступенчатых насосах геометрические размеры
ступеней одинаковы, но пластины смещены одна относительно другой
на 90˚.
Механические вакуумные насосы с масляным уплотнением
используются в качестве насосов предварительного разряжения в
высоковакуумных агрегатах и являются неотъемлемой частью любой
вакуумной установки.
Сорбционные насосы
Действие сорбционных насосов основано на поглощении
откачиваемого газа поверхностью поглотителя (сорбента).
В качестве поглотителя используются пористые вещества с сильно
развитой поверхностью (цеолит, активированный уголь и др.),