ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
10
1.2.2. Высоковакуумные насосы
Высоковакуумные пароструйные насосы (рис. 3) являются наиболее
простыми и надежными средствами откачки, позволяющими создавать
низкие давления от 10
-2
до 10
-9
Ра. Они широко применяются в
производстве радиоламп, электронно-лучевых трубок, фотоэлементов,
газоразрядных и сверхвысокочастотных приборов, в производстве
полупроводниковых материалов, для откачки электронных
микроскопов, установок для нанесения тонких пленок, масс-
спектрографов и т. д.
Характерной особенностью высоковакуумных насосов является
постоянство быстроты действия в широком диапазоне рабочих
давлений. В качестве рабочей жидкости в высоковакуумных насосах
применяются ртуть (марка Р-1) и высоковакуумные масла ВМ-1, ВМ-2,
ВМ-5 и ВМ-7, сложные эфиры ОФ и ОС, кремнийорганические
жидкости ВК Ж-94А и ПФ
МС-2.
Высоковакуумные
парортутные насосы до
настоящего времени нахо-
дят широкое применение в
промышленности и техни-
ке, несмотря на известные
недостатки ртути: токсич-
ность, высокую упругость
пара при комнатной темпе-
ратуре, обусловливающую
необходимость применения
низкотемпературных лову-
шек; высокую химическую
активность по отношению к
металлам, ограничиваю-
щую выбор конструкцион-
ных материалов насосов.
Они используются в
основном для откачки
ртутных выпрямителей,
газосветных ламп, масс-
спектрометров, ускорителей, установок для термоядерых исследований
и т. д.
Широкое использование парортутных насосов обусловлено рядом
их важных достоинств. При использовании низкотемпературных
Рис. 3. Схема пароструйного насоса:
1 – нагреватель; 2 – паропровод; 3 – сопло 1-й
ступени; 4 – сопло 2-й ступени; 5 – сопло 3-й
ступени; 6 – корпус; 7 – впускной патрубок; 8 –
выпускной патрубок; 9,10 – вентилятор с
радиатором
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 8
- 9
- 10
- 11
- 12
- …
- следующая ›
- последняя »
