ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
12
газов титаном, распыляемым при высоковольтном разряде в магнитном
поле. Одиночная разрядная ячейка насоса (рис. 4) образована двумя
титановыми катодными пластинами и анодом из нержавеющей стали.
Разрядная ячейка помещена в магнитное поле, перпендикулярное
плоскости катодов. При подаче на электроды разрядной ячейки
высокого напряжения (положительного на анод по отношению к
катодам в насосах НЭМ или отрицательного на катоды по отношению к
аноду в насосах НОРД) в ячейке возникает газовый разряд в широкой
области низких давлений. Образующиеся в разряде положительные
ионы газа ускоряются электрическим полем к катодам и внедряются в
них, при этом происходит распыление материала катода (титана) и
осаждение его на стенках анода и других поверхностях насоса.
Откачное действие насоса определяется внедрением ионов газа в
материал катода (ионной откачкой) и поглощением остаточных газов
распыленным титаном (сорбции-
онной откачкой). В зависимости
от производительности магнито-
разрядные насосы содержат
десятки и сотни разрядных ячеек,
которые объединяются в электро-
разрядные блоки, помещенные в
корпус из нержавеющей стали.
Магнитное поле напряженностью
700 Э создается оксидно-бари-
евыми магнитами, расположен-
ными с внешней стороны
корпуса. Насос обезгаживается
прогревом при температуре 400–
500 °С.
Благодаря отсутствию в
насосах накаленных и движущихся деталей, а также рабочей жидкости
они обладают высокой надежностью, большим сроком службы (десятки
тысяч часов), просты в обслуживании и не выходят из строя при
аварийном попадании атмосферы в вакуумную систему. Насосы
позволяют оценивать давление в системе по разрядному току. Они
работают в области высокого и сверхвысокого вакуума и дают
возможность получить предельное остаточное давление 1·10
-8
Ра.
Таблица 2. Относительная быстрота откачки газов магниторазрядными насосами
Газ
Быстрота
откачки, %
Газ
Быстрота
откачки, %
Водород
270
Окись углерода
85
Метан
270
Двуокись углерода
85
Рис. 4. Схема разрядной ячейки: 1 –
пористый анод; 2 – катодные пластины.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 10
- 11
- 12
- 13
- 14
- …
- следующая ›
- последняя »
