Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 14 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

14
параллельно работающих прорезей, благодаря чему достигается
большая быстрота откачки – 250 л/с.
Конденсационные насосы
Конденсационные, или криогенные, насосы используются в
качестве последующих ступеней в сверхвысоковакуумных установках и
обладают большой скоростью откачки (до 1 000 000) л/с при давлении
1·10
-8
–1·10
-9
Ра. Причем, криопанели (охлаждаемые поверхности
криогенных насосов) могут быть расположены непосредственно внутри
вакуумной камеры. В идеальном случае температура их должна быть
достаточно низкой, чтобы вымораживать почти все газы и пары до
пренебрежительно низкого равновесного давления. Ко всей
поверхности таких панелей должен быть обеспечен свободный доступ
откачиваемого газа, т. е. быстрота откачки должна ограничиваться лишь
площадью криогенной поверхности и коэффициентом прилипания
падающих на нее молекул. На практике охлаждение поверхностей до
низких температур является дорогостоящим делом, причем стоимость
увеличивается при понижении температуры криопанелей при той же
газовой нагрузке. По этой причине криопанели окружаются сложными
радиационными экранами, чтобы преграждать путь и предварительно
охлаждать большинство молекул газа, диффундирующих в направлении
криопанелей и защитить криопанели от теплового излучения.
Очевидно, что криопанели имеют ограниченную емкость и
периодически их нужно отогревать, чтобы освободиться от намерзшего
газа.
В зависимости от назначения криогенного насоса в качестве
охлаждающей жидкости используется жидкий кислород, азот, водород,
гелий.
2. Измерение вакуума
Приборы для измерения давлений газа ниже атмосферного
(вакуумметры) разделяются на следующие типы (в скобках указан
диапазон давлений, в котором данный тип вакуумметра работает):
– деформационные вакуумметры (10
-2
–10
5
Ра), в которых в качестве
чувствительного элемента используется трубчатая пружина, мембрана
или сильфон, деформирующиеся под действием разности давлений с
противоположных сторон элементов;
– гидростатические (или жидкостные) вакуумметры (10
-1
–10
5
Ра),
непосредственно измеряющие давление как разность уровней жидкости
в сообщающихся сосудах (к этой группе относятся U-образные с

Страницы