Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 13 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

13
Аммиак
170
Кислород
55
Пары воды
130
Гелий
11 - 20
Воздух
100
Аргон
1 - 4
Азот
100
Турбомолекулярный насос
Турбомолекулярные вакуумные насосы предназначены для работы в
области высокого и сверхвысокого вакуума (от 10
-2
до 10
-8
Ра). По
сравнению с молекулярными насосами малых зазоров, допускающими
прогрев области впускного патрубка до 150°С, они более надежны в
эксплуатации и, главное, имеют значительно более высокую быстроту
откачки. При достижении оста-
точного давления во впускном
патрубке турбомолекулярного на-
соса не содержится паров масла. В
противоположность пароструйным
насосам турбомолекулярные насо-
сы начинают работать сразу же
после пуска и не ухудшают своих
характеристик от прорывов
атмосферного воздуха. Большая
быстрота безмасляной откачки в
широком диапазоне давлений,
отсутствие ловушек и затворов –
важные преимущества турбомо-
лекулярных насосов по сравнению
с паромасляными.
Схема устройства турбомо-
лекулярного насоса показана на
рис. 5.
В корпусе 2, с закреплен вал
ротора 1 с дисками 3. В дисках
имеются косые прорези, причем
прорези в роторных дисках расположены зеркально по отношению к
прорезям в дисках статора 4. При вращении ротора откачка происходит
за счет преимущественного отражения молекул от середины ротора к
краям. Толщина дисков в описываемом насосе составляет несколько
миллиметров, расстояние между дисками 1 мм. Радиальные зазоры
также могут составлять около 1 мм, поскольку обратное протекание газа
через такие зазоры при низких давлениях значительно меньше
достигаемой быстроты откачки. Диски имеют большое число
Рис. 5. Конструктивная схема
устройства турбомолекулярного
насоса: 1 – вал ротора; 2 – корпус;
3 – рабочие диски ротора; 4 – диски
статора.

Страницы