Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 15 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

15
открытой и закрытой трубкой, чашечные, поплавковые и колокольные
вакуумметры, микровакуумметры с наклонной трубкой);
– компрессионные вакуумметры (10
-5
–10
3
Ра), действие которых
основано на изотермическом сжатии идеального газа (манометры Мак-
Леода);
– теплоэлектрические вакуумметры (10
-5
–10
5
Ра), в которых
используется измерение теплопроводности газов в зависимости от
давления; подразделяются на термопарные и вакуумметры
сопротивления;
– ионизационные вакуумметры (10
-12
–10
2
Ра), использующие
явление ионизации остаточного газа потоком электронов, испускаемых
накаленным катодом (электронные ионизационные вакуумметры), или
альфа-частицами, получаемыми радиоактивным препаратом
(радиоактивные ионизационные вакуумметры). Ионный ток в этих
приборах служит мерой молекулярной концентрации, т. е. давления
газа;
– магнитные электроразрядные вакуумметры (10
-11
–10
2
Ра), в
которых мерой давления служит ток разряда, возникающий при низких
давлениях под действием электрического и магнитных полей
(разновидностью вакуумметров этого класса являются магнетронный и
инверсно-магнетронный вакуумметры).
3. Порядок выполнения работы
Для успешного выполнения лабораторной работы необходимо,
прежде всего, изучить вакуумную схему установки и сопоставить
элементы схемы элементам пульта управления вакуумной системой
3.1. Вакуумная система масс-спектрометра вторичных ионов МС-
7201М
Вакуумная система предназначена для создания вакуума в
аналитической стойке, а также для выполнения служебных
вспомогательных операций, необходимых при обслуживании
установки.
Система включает в себя (рис.6):
1) шлюзовое устройство, предназначенное для быстрой смены
исследуемых объектов без нарушения рабочего вакуума в
аналитической стойке, которое состоит из внутреннего клапана с
поворотной турелью и держателем для установки шести образцов,
внешнего клапана со смотровым окном, клапана напуска воздуха в
шлюзовую камеру и клапана форвакуумной откачки;

Страницы