Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 16 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

2) высоковакуумный вентиль с эластичным уплотнением, предназ-

наченный для отсечения рабочего вакуумного объема от

высоковакуумного насоса;

3) высоковакуумный пароструйный насос НВДС-100, обеспечива-

ющий скорость откачки 500 литр/сек;

4) форвакуумный насос 2НВР-5ДМ;

5) форвакуумную магистраль с системой электромагнитных

клапанов сильфонного типа;

6) систему натекания рабочего газа в ионные источники, содер-

жащую баллоны высокого давления с редукторами и манометрами и

регуляторы напуска газа (пъезовентили).

Рис.6. Блок-схема вакуумной системы масс-спектрометра вторичных ионов МС-

7201М:

НВ - пароструйный насос НВДС-100; НФ – форвакуумный насос 2НВР-5ДМ;

КЗ, К8...К10 –электромагнитные клапаны ; Ш – шлюз; К5 – шлюзовой клапан;

ЛВ – азотная ловушка; МП1 – ручка клапана отсечки аналитической камеры от

параструйного насоса; МП2 – ручка манипулятора образцов; Б1, Б2 – балоны

высокого давления с редукторами Р1, Р2 и манометрами; Д1, Д2 – датчики

давления; К1, К2 – натекатели с пьеэовентилями.