Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 18 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

18
3. Все кнопки управления клапанами форвакуумной системы на пульте
управления (ПУ) в отжатом состоянии (при этом сами клапаны
находятся в закрытом состоянии).
Для получения форвакуума в системе МС-7201М необходимо
произвести следующие операции
4. Включить форнасос прибора кнопкой ФОРНАСОС и прокачать
форлинию ЛФ до давления 10–15 Ра.
Примечание: Для того, чтобы измерить давление на насосе НФ и ЛФ
с помощью датчика давления Д1 преобразователя термопарного
(ПТ1), необходимо выставить ток накала датчика ~120 мА
потенциометром УСТАНОВКА ТОКА ФОРНАСОС. Затем переведите
переключатель блока, индикации форвакуума в положение ИЗМ ФН
(измерение на форнасосе).
5. Открыть электромагнитный клапан КЗ, нажав на ПУ
соответствующую кнопку, и откачать форбаллон до давления не менее
15 Ра.
Примечание: При этом переключатель блока индикации
форвакуума должен
быть в положении ИЗМ ФБ (измерение на форбаллоне),
предварительно выставить ток накала ПТ2 ~120мА потенциометром
УСТАНОВКА ТОКА ФОРБАЛЛОН.
6. Для получения форвакуума в аналитической камере необходимо
закрыть клапан К3, отжав соответствующую кнопку (К3) на ПУ,
открыть клапан К9, нажав соответствующую кнопку (К9) на ПУ и
открыть шлюзовой клапан К5 с помощью ручки манипулятора
образцами МП2.
Примечание: Процедуру 3.2.6. необходимо осуществлять после
получения СВВ в камере диффузионного насоса, перед открытием
клапана К4
3.3. Получение высокого вакуума
1. После получения на форбаллоне достаточного вакуума включить
водяное охлаждение диффузионного насоса. Для этого, проверив
предварительно наличие холодной воды в водопроводе, открыть до
упора водопроводный кран, расположенный над форвакуумным
насосом.
2. Кнопкой НВ включить диффузионный насос. Насос включится при
условии, что на "рубашку" дифнасоса подаѐтся достаточное для
охлаждения количество воды. Об отсутствии воды или недостаточном
еѐ количестве или недостаточной температуре сигнализирует лампочка