Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 20 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

1) краткие сведение о физических основах получения и контроля

сверхвысокого вакуума;

2) блок-схему вакуумной системы МС-7201М;

3) экспериментальные данные при получении сверхвысокого вакуума;

4) анализ полученных результатов и выводы по работе.

5. Контрольные вопросы

1. Перечислите типы вакуумных насосов, применяемых для получения

низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

2. В чем заключается принцип работы форвакуумного,

магниторазрядного, турбомолекулярного насоса?

3. В чем заключается принцип работы термопарного, ионизационного,

электроразрядного вакуумметров? Каков диапазон измерений?

4. В чем заключается принцип работы сорбционного насоса,

криопанели?

5. Объясните блок-схему, назначение отдельных элементов вакуумной

системы МС-7201М, порядок откачки отдельных узлов, перечислить

этапы получения сверхвысокого вакуума.

Дополнительная литература

1. Лубенец В. Д. Вакуумные системы. М.: Машиностроение, 1968.

2. Пауэр Б. Д. Высоковакуумные откачные устройства. М.: Энергия,

1969.

3. Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. М.:

Энергия, 1972.

4. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Энергия, 1965.

5. Техническое описание масс-спектрометра МС-7201М.

6. Вакуумная техника: Справ. материалы. М.: Внешторгиздат, 1968.

Лабораторная работа № 2

"Получение и диагностика ионных пучков"

Цель работы: изучить методы и аппаратуру для получения и

диагностики ионного пучка в системе масс-спектрометра вторичных

ионов МС-7201М.