Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 21 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

21
1. Основные понятия и общие сведения о получении ионных
пучков.
Ионный пучок (ИП) – пространственно сформированный поток
ионов, скорость направленного движения которых много больше их
тепловых скоростей.
Ионный источник (ИИ) – устройство для получения ИП в вакууме.
ИИ – неотъемлемая часть ускорителей, инжекторов быстрых атомов
для термоядерных систем, установок электромагнитного разделения
изотопов, масс-спектрометров, технологических установок различного
назначения и др.
Важнейшие параметры ИИ:
– полный ток и плотность тока ионного пучка;
– энергия ионов;
– характерный поперечный размер пучка;
– мера интенсивности пучка — первеанс (отношение полного тока к
ускоряющему напряжению в степени 3/2);
– мощность пучка — произведение полного тока на энергию ионов;
– качество пучка, его пространственная и скоростная
сформированность (эффективный угол расходимости и энергетический
разброс ионов);
– компонентный состав пучка (положит и отрицательные ионы,
атомарные, молекулярные, многозарядные ионы);
– энергетическая эффективность (отношение мощности пучка к
мощности потребляемой ИИ от сети);
– газовая эффективность – отношение потока сформированных
ионов к потоку газа, подаваемого в ИИ.
По временным характеристикам ИИ делятся на импульсные,
квазистационарные и стационарные.
ИИ состоит из двух основных узлов: эмиттера ионов и
электростатической системы, с помощью которой ионы извлекаются,
ускоряются и формируются в направленный поток, т. н. ионно-
оптическая система (ИОС). В простейшем виде ИИ состоит из эмиттера
и ускоряющего электрода – экстрактора с отверстием для выхода
ионного пучка. Для дополнительной фокусировки ускоренного пучка
используются электростатические и магнитные линзы. ИОС различных
ИИ строятся по единому принципу, и главным фактором,
определяющим тип ИИ, является метод создания эмиттера ионов.
В зависимости от физической природы эмиттера ионов различают
несколько типов ИИ, основными из которых являются следующие:

Страницы