Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 17 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

17
Для дозированной подачи инертных газов в ионный источник
применена система натекания СНА-2 и механические натекатели с
пьезовентилями.
Вакуумная система обеспечивает рабочее давление в аналитической
стойке прибора <7·10
-8
Ра. Контроль давления осуществляется 2-мя
стандартными термопарными датчиками типа ПМТ-4М, которые
обеспечивают измерение давления от 1,3·10
-1
Ра до 13 Ра и магнито-
ионизационным датчиком МИД, обеспечивающим измерение давления
от 1,3·10
-6
да 10
-2
Рa.
Управление вакуумной системой осуществляется с помощью блока
управления, работающего как в ручном режиме, так и от ЭВМ.
В ручном режиме функция блока сводится к подаче на
электромагнитные клапаны КЗ, К8...К10 при нажатии соответствующей
кнопки сначала импульсного форсирующего напряжения (за счет
разряда конденсатора), а затем удерживающего (порядка 6-7 В).
В блоке предусмотрено несколько блокировок, снижающих
вероятность аварийных ситуаций при нелогичных включениях.
Отображение информации о состоянии коммутационных элементов
вакуумной системы осуществляется соответствующими сигнальными
лампами и звонком. Звуковой сигнализацией сопровождается
недостаточное охлаждение водной рубашки дифнасоса или состояние
вакуума на МИДе ниже 7·10
-3
Ра.
Температуру водяной рубашки дифнасоса контролирует схема
термореугуяяции, выполненная на транзисторах, помощью датчика–
терморезистора, расположенного непосредственно на дифнасосе. С
помощью резистора "БЛОКИРОВКА ДИФНАСОСА", расположенного
на задней панели блока, можно изменить уровень срабатывания схемы
терморегуляции.
3.2. Получение форвакуума
Для получения форвакуума в откачиваемых объектах установки
МС-7201М (рис. 7) проверить, прежде всего, исходное положение
элементов управления вакуумной системой:
1. Клапан шлюза К5 должен быть закрыт, для этого ручка
манипулятора образцов выдвинута и повернута по часовой стрелки до
упора;
2. Высоковакуумный клапан К4 должен быть закрыт, при этом ручка
клапана повернута по часовой стрелки до упора;

Страницы