Послойное исследование элементного и химического состава приповерхностных слоев твердых тел. Никитенков Н.Н. - 11 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТПУ | Томск

Составители: 

Рубрика: 

11
ловушек они позволяют получать «чистый» вакуум, не загрязняя
откачиваемую систему побочными газообразными продуктами; очень
стабильны в работе, так как ртуть не разлагается в кипятильнике насоса;
имеют большой срок службы и мало чувствительны к прорывам
атмосферы в насос, если при этом не происходит значительного уноса
из него ртути.
Выпускаются высоковакуумные парортутные насосы с быстротой
откачки
10, 15, 500, 1500 и 6000 л/с.
Вакуумные паромасляные насосы наиболее широко распространены
в промышленности, что обусловлено простотой их устройства и
надежностью работы. Используемые в насосах в качестве рабочих
жидкостей вакуумные масла совершенно безвредны, не
взаимодействуют с конструкционными материалами и обладают низкой
упругостью пара при комнатной температуре. При помощи
высоковакуумных паромасляных насосов можно получать остаточные
давления ниже 10
-4
Ра без применения низкотемпературных ловушек.
Выпускается значительный ассортимент различных
высоковакуумных паромасляных насосов как общего, так и
специального назначения с быстротой откачки от 5 до 38 000 л/с.
Конструкция пароструйного (паромасляного насоса) представлена
на рис. 3. Рабочая жидкость нагревается в кипятильнике 1 нагревателем.
Образующийся пар по паропроводу 2 поступает к соплам первой (3),
второй (4) и третьей (5) ступеней и вытекает из них со скоростью,
превышающей скорость звука. Откачиваемый из реципиента газ
поступает в насос через впускной патрубок 7 и диффундирует в струю
рабочего пара. Попадая на охлаждаемую воздухом стенку (в МС-7201М
вместо 9,10 используется водяное охлаждение, так что вместо радиатора
10 – водяная "рубашка" в виде намотанной спиралью вокруг корпуса
медной трубки) корпуса 6, пар конденсируется и конденсат стекает в
кипятильник, где он вновь испаряется, т.е. в насосе обеспечивается
непрерыв-ная циркуляция рабочей жидкости.
Газ, увлеченный паром, вытекающим из сопел первой ступени,
отбрасывается в основном вниз и диффундирует в струи второй, а затем
третьей ступени и подается к выпускному патрубку 8 насоса, откуда он
откачивается механическим форвакуумным насосом.
1.2.3. Сверхвысоковакуумные насосы
Магниторазрядный насос
В основе действия магниторазрядного насоса лежит поглощение

Страницы