Перспективы применения наноматериалов в космической технике. Новиков Л.С - 64 стр.

Раздел 2

   Еще одним вариантом конденсационного метода получения
наночастиц в газовой среде является плазмохимический синтез,
который проводится в специальных плазменных реакторах –
плазмотронах. Плазма с температурой 4000–8000 К создается
внутри реактора путем зажигания высокочастотного газового
разряда или электрической дуги в Ar, N2, NH3 и других газах.
Схема одного из вариантов плазмотрона показана на рис. 2.3.
Плазмообразующий газ напускается в камеру через патрубки (1).
Патрубки (2), (3) служат для ввода в камеру реагентов и холодно-
го газа. С помощью системы электродов (5) и электромагнита (6)
в камере зажигается электрическая дуга (7). При горении дуги в
камере образуется поток плазмы (8). Продукты синтеза выводят-
ся из камеры через патрубок (4).

     1                                     2       3
                     1



                                                                 4
             7                                 8

                 5

                                     6

     Рис. 2.3. Схема плазмотрона: 1, 2, 3 – патрубки для ввода в камеру
     плазмообразующего газа, реагентов и холодного газа; 4 – патрубок
     для вывода продуктов синтеза; 5 – система электродов; 6 – элект-
     ромагнит; 7 – электрическая дуга; 8 – поток плазмы

   В плазме протекают химические реакции с участием исходных
веществ, которые могут находиться в газообразном, жидком или
твердом состоянии. При этом плазмообразующие газы участвуют
в реакциях. Далее, как и в предыдущих конденсационных мето-
дах, осуществляемых в газовой среде, производится конденсация
продуктов реакций при их охлаждении.
   Отметим, что рассмотренные процессы осаждения наномате-
риалов в газовой среде, включая осаждение нанопленок, приня-
то делить на две группы: физическое осаждение (Physical Vapor

64