ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
2
Методические материалы предназначены для выполнения НИРС и
дипломных работ студентов 5 курса и магистерских диссертаций студентов 6
курса по направлению «Физика», программа «Физика полупроводников.
Микроэлектроника». В них представлен новый метод расчета распределения
двумерных электрических полей и пробивного напряжения в планарных p-n
переходах диодов, биполярных и МОП транзисторов, не требующий
численных решений уравнения Пуассона со сложными граничными
условиями . Этот метод основан на суммировании электрических полей от
тонких заряженных цилиндров из ионизированных доноров и акцепторов.
Печатается по решению НМС физического
факультета от 08.05.2002г.
СОДЕРЖАНИЕ
Введение ................................................................................................................3
1. Метод “заряженных цилиндров” для расчета электрических полей в
планарном p-n преходе .........................................................................................4
1.1. Постановка задачи ......................................................................................4
1.2. Вывод формул для расчета электрического поля от плоского
заряженного слоя методом “заряженных цилиндров”....................................6
1.3. Вывод формул для расчета электрического поля от боковой части
планарного p-n перехода ...................................................................................9
2. Пример расчета напряженности поля в меза -диоде ......................................12
Контрольные вопросы........................................................................................18
Литература ..........................................................................................................18
М е то ди че ски е ма те р и а лы пр е дна зна че ны для выпо лне ни я Н ИРС и
ди пло мных р а б о тстуде нто в 5 кур са и ма ги сте р ски х ди ссе р та ци й студе нто в 6
кур са по на пр а вле ни ю «Ф и зи ка », пр о гр а мма «Ф и зи ка по лупр о во дни ко в.
М и кр о эле ктр о ни ка ». В ни х пр е дста вле н но вый ме то д р а сче та р а спр е де ле ни я
двуме р ных эле ктр и че ски х по ле й и пр о б и вно го на пр яж е ни я в пла на р ных p-n
пе р е хо да х ди о до в, б и по ляр ных и М ОП тр а нзи сто р о в, не тр е б ую щ и й
чи сле нных р е ш е ни й ур а вне ни я П уа ссо на со сло ж ными гр а ни чными
усло ви ями . Э то т ме то д о сно ва н на сумми р о ва ни и эле ктр и че ски х по ле й о т
то нки хза р яж е нныхци ли ндр о в и з и о ни зи р о ва нныхдо но р о в и а кце пто р о в.
П е ча та е тся по р е ш е ни ю НМ С фи зи че ско го
фа культе та о т 08.05.2002г.
СОД Е РЖ А Н ИЕ
В ве де ни е ................................................................................................................ 3
1. М е то д “за р яж е нныхци ли ндр о в” для р а сче та эле ктр и че ски х по ле й в
пла на р но м p-n пр е хо де . ........................................................................................ 4
1.1. П о ста но вка за да чи ...................................................................................... 4
1.2. В ыво д фо р мул для р а сче та эле ктр и че ско го по ля о тпло ско го
за р яж е нно го сло я ме то до м “за р яж е нныхци ли ндр о в”.................................... 6
1.3. В ыво д фо р мул для р а сче та эле ктр и че ско го по ля о тб о ко во й ча сти
пла на р но го p-n пе р е хо да ................................................................................... 9
2. П р и ме р р а сче та на пр яж е нно сти по ля в ме за -ди о де ...................................... 12
Ко нтр о льные во пр о сы. ....................................................................................... 18
Л и те р а тур а .......................................................................................................... 18
2
