Технологическое оборудование. Громков Н.В.

Настоящая рабочая программа устанавливает минимальные требования к знаниям и умениям студента и определяет содержание и виды учебных занятий и отчетности. Предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, и студентов специальности 210104 - Микроэлектроника и твердотельная электроника, участвующих в процессе изучения дисциплины. Цель преподавания дисциплины состоит в освоении студентами физических процессов, происходящих в вакууме, определяющих работу и конструкции вакуумных насосов и вакуумных систем, изучении основных стадий производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, классификации соответствующего оборудования и требований к нему, получение навыков практической работы на технологическом оборудовании, ориентироваться в многообразии оборудования и выборе его с учетом технологических и экономических факторов с учетом экологических и гигиенических требований.