Технологическое оборудование. Громков Н.В. - 1 стр.

                                               РПД МЭ ДС. 06-2005
          Государственное образовательное учреждение
           высшего профессионального образования


     ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
            Факультет естественнонаучный
            Кафедра Микроэлектроника




            Система методического обеспечения
                 учебного процесса



             Рабочая программа дисциплины


               Технологическое оборудование
          по программе подготовки специалиста инженера
  по укрупненной группе специальностей и направлений подготовки
         210000– Электронная техника, радиотехника и связь


специальности 210104 Микроэлектроника и твердотельная электроника



                                             Экземпляр №




                          2005год