Технологическое оборудование. Громков Н.В. - 8 стр.

13 Учебная литература

13.1. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства.
        М.: Машиностроение, 1986.
13.2.     Черняев В.Н. Технология         производства    интегральных    микросхем   и
        микропроцессоров.
        М.: Радио и связь, 1987.
13.3. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М.: – Энергия,
      1972.
13.4. Бер А.Ю., Минскер Ф.Е. Сборка полупроводниковых приборов и интегральных
      микросхем. М.: - Высшая школа, 1986.
13.5. Глазков И. М. Оборудование для производства фотошаблонов и выполнение
      операций фотолитографии. М.: - Сов. радио, 1975.
14 Дополнительная литература

14.1. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. М.: - Радио и
      связь, 1991.
15 Методические материалы

15.1. Медведев С. П., Печерская Р. М. Проводниковые материалы. Методические указания
      по самоподготовке. ПензГУ, 2000 г.
15.2. Метальников А. М., Печерская Р. М. Вопросы для самоконтроля. ПензГУ, 2000 г.
16 Сведения о переутверждении программы на очередной учебный год и
регистрации изменений


                                                      Решение
                                      Решение      выпускающе
                                    кафедры (№      й кафедры        Лектор
          Учебный        Учебная    протокола,          (№        (разработчи     Номер
            год          группа        дата,        протокола,          к       изменения
                                    подпись зав.       дата       программы)
                                     кафедрой)      подпись зав
                                                    .кафедрой)
                                                                  ГромковН.В.